[发明专利]探针座的辅助拆解装置及其使用的治具

说明书

技术领域

本发明涉及一种探针座的辅助拆解装置，特别涉及用以辅助将制作完成的探针座自其治具中拆解而出，且不易伤害制作完成的探针座者。

背景技术

请参考图2A，探针座91是晶圆测试时所使用的探针卡9(probe card)当中的关键组件，具有数量相多的探针92容设其中，且探针92的针尖921彼此紧密排列且维持特定微小间距。探针座的传统制作过程，会先根据晶圆测试所要求的探针数量与针尖间距，先在一胶膜上设计打孔，其中胶膜上的孔数、孔径与孔距即为探针座所需的针尖数量、针尖外径与针尖间距。然后再将胶膜放在治具上，并再依照探针座的设计将探针与聚酯薄膜一层一层交叉排列并堆迭覆盖而形成，最后粘上陶瓷片而制作完成，其中探针的针尖921主要排列于探针座91的中间靠近底部的位置。请参考图2B，制作完成的探针座91粘合、且近乎埋设于治具94，此时必须利用操作员以工具95(例如：尖锥或槌)敲打方式探针座91与治具94的接合边，慢慢将探针座91与治具94分离。但因探针座91与治具94以侧边剥离的方式分开，剥离边受力之后相较于粘合边会产生扭矩与侧向力，如果操作员的操作略有不慎，极易造成探针座91滑移而使位于探针座91底部的针尖921的角度、方向与间距产生偏差、甚至毁损，而使探针座91报废，致于探针座91的制作耗费时间，且良率无法提升。

发明内容

为了解决上述现有技术不尽理想之处，本发明提出一种探针座的辅助拆解装置，用以辅助将制作完成的探针座自其治具中拆解而出。此探针座的辅助拆解装置包含一底座、一垂直移动机构、取放头及一治具。其中底座向上延伸设置垂直移动机构，垂直移动机构上再设置取放头而利用此取放头可暂时地接合探针座的顶部。探针座制作所需的治具特别设计成两片式，一为上板、一为下板，上板与下板可视状况使其分离或结合，而治具(主要为下板)可被拆卸及定位于底座。上述探针座的辅助拆解装置的使用方式为，先将形成有探针座的成品的治具定位于底座上(探针座在治具上的制作方式请参考前述的【背景技术】)，之后操作垂直移动机构使取放头接触到探针座的顶部，藉由取放头上预先设置的粘胶或类似物质，可使取放头暂时性地接合于探针座顶部。由于治具的下板定位于底座，而探针座粘合于治具的上板，此时松开上板与下板的结合元件(例如：螺丝)，再继续操作垂直移动机构使取放头、探针座与上板同时上升，此时探针座连同上板便与下板脱离，而悬于半空中。由于探针座与取放头的暂时性接合力大于探针座与治具上板的接合力，藉由操作员使用适当工具及溶剂配合往下敲上板的上方，便可轻易地将上板以垂直方向朝下与探针座分离。因为分离过程中，探针座与治具上板之间没有相对的侧向滑移，因此相较于现有技术而言，不易影响到探针座的针尖排列与针尖间距等。之后再由操作员从取放头上以垂直方向朝下取下探针座即可，如此便不易伤害制作完成的探针座，尤其是探针座的针尖部分，因此可以维持探针座制作时所设定的探针精准位置。

缘此，本发明的主要目的在提供一种探针座的辅助拆解装置，可利于制作完成的探针座自其治具中拆解而出，因此不易伤害制作完成的探针座。

本发明的次要目的在提供一种探针座的辅助拆解装置，可以垂直方式将制作完成的探针座与治具分离，不易伤害制作完成的探针座。

本发明的再一目的在提供一种治具，因其具有可分离的上板与下板，可利于制作完成的探针座自治具中拆解而出，且不易伤害制作完成的探针座。

附图说明

图1A为一立体图，根据本发明提出的第一较佳实施例，为一种探针座的辅助拆解装置。

图1B为一示意图，根据本发明提出的治具及其配合的探针座。

图2A为一示意图，探针卡结构的现有技术。

图2B为一示意图，探针座与其治具的现有技术。

主要元件符号说明：

探针卡(现有技术)9

探针座(现有技术)91

探针(现有技术)92

探针的针尖(现有技术)921

治具(现有技术)94

工具(现有技术)95

探针座的辅助拆解装置1

底座11

垂直移动机构111

垂直螺杆机构1111

垂直导柱装置1112

取放头112

第一水平夹持机构113

第一螺杆机构1131

第一导柱装置1132

第二水平夹持机构114

第二螺杆机构1141

第二导柱装置1142

治具12

上板121

开槽1211

螺丝1212

螺孔1213

通孔1214