[发明专利]图案形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及图案形成方法。

背景技术

液晶显示装置在元件基板和对置基板之间隔着密封件封入液晶。并且，在元件基板及对置基板的液晶相接的面上形成有用于对液晶进行取向的取向膜。取向膜形成在元件基板及对置基板的大致整个面上，其形成方法之一包括喷墨法。喷墨法是将喷出到基板上的液滴彼此相互结合，在基板上形成取向膜的图案。然而，喷出到基板上的液滴有时不能在基板上均匀扩展，例如，收缩而产生条纹，或者靠向其他液滴而产生凸起等，难以形成均匀的取向膜。

为此，提出了如下方法(专利文献1)：在由围堰(隔壁)包围的范围内，适当地配置从液滴喷出装置喷出的液滴，以使不产生未填充的部位。在专利文献1中，向玻璃基板上形成的像素电极上的隔壁所划分的区域内，设喷出间隔为2秒以下，从喷墨喷嘴连续喷出两滴作为液滴的发光薄膜材料，使其干燥而形成了发光薄膜层。通过使液滴的喷出间隔为2秒以下，防止了液滴靠向先前喷出干燥的液滴而导致的液滴在围堰内不扩展。

但是，在专利文献1中，无法应用到在广范围内使液滴均匀扩展的情况。

为此，提出了如下方法(专利文献2)：从液滴喷出装置喷出多个液滴，将液滴在由围堰包围的范围内以不产生未填充部位的方式进行配置。在专利文献2中，在由围堰包围的部分的围堰的角落部，使液滴喷出到角落部的附近，随着朝向由围堰包围的部分的中央，减小所喷出的液滴间的间隔，在中央附近，使液滴喷出到中央的部分。由此，使所喷出的液滴与围堰接触时的液滴的高度在各处大致均匀，不会从围堰漏出液体，从而使液滴均匀地配置在由围堰包围的部分。

专利文献1：特开2004-31077号公报

专利文献2：特开2006-178208号公报

但是，在专利文献2中，需要进行液滴的喷出位置的正确的定位，喷出方法变得复杂。另外，不易应用于使液滴在喷出耗费时间的广范围内扩展的情况。

发明内容

本发明为了解决上述问题而实现，其目的在于提供一种在基板上以矩阵状划分形成凹部并通过使液滴配置到适当地选择的凹部后扩展，从而在基板上容易地形成正确的图案的图案形成方法。

在本发明的图案形成方法中，在基板上邻接形成多个凹部，用液滴喷出单元使功能液状体成为液滴向形成有该凹部的基板上喷出，并且跨越多个所述凹部，在该基板上形成所述功能液状体的图案。

根据本发明的图案形成方法，在基板上配置的液滴跨越多个凹部地配置，该液滴所形成的图案的边缘部分的形状被限制为凹部的形状。因此，通过喷出到基板上的液滴，能形成限制为凹部的形状的正确的形状的图案。

另外，形成图案的液滴即使向基板弹落的精度低，若至少其一部分跨越目标的凹部，则也会扩展并被限制为该凹部的形状。因此，可减少由喷出的液滴向基板弹落的精度差所导致的不良情况。另外，由于对液滴喷出单元不要求高的液滴喷出精度，因此液滴喷出单元的构造和系统容易实现。

在该图案形成方法中，优选所述多个凹部被划分形成为矩阵状。

根据该图案形成方法，由于凹部被划分形成为矩阵状，因此，可通过液滴喷出装置选择喷出液滴的凹部。因此，若向所选择的凹部喷出液量少的液滴，则可形成为任意形状。结果，无需在基板上预先形成规定形状的图案，从而容易在基板上形成图案。

另外，若向所选择的凹部喷出液量多的液滴，则能使喷出的液滴沿基板上的凹部适宜地扩展。结果，能在基板上适宜地形成功能液状体的液层。

而且，由于以矩阵状划分形成凹部，因此容易形成凹部。

在该图案形成方法中，优选所述液滴喷出单元按照与先前喷出到基板上的液滴至少一部分重叠的方式喷出液滴。

根据该图案形成方法，喷出的液滴与液滴至少一部分重叠。因此，能使液滴与液滴接触结合来形成大的液层。结果，能使功能液状体在基板上广泛润湿扩展，在基板上形成功能液状体的厚层。

在该图案形成方法中，所述液滴喷出单元可按照在配置有喷出到基板上的所述液滴的所述凹部，配置另外喷出的所述液滴的至少一部分的方式喷出所述液滴。

根据该图案形成方法，另外喷出的液滴配置到已经喷出的液滴所扩展的凹部。因此，先前喷出的液滴能与后来喷出的液滴接触结合。结果，通过喷出到基板上的液滴，能形成基于功能液状体的图案。

在该图案形成方法中，所述凹部对所述功能液状体可以为亲液性。

根据该图案形成方法，由于凹部对所述功能液状体为亲液性，因此，液滴能在凹部适宜地润湿扩展。

在该图案形成方法中，所述凹部可在与邻接的所述凹部之间具备凸部，所述凸部对所述功能液状体可以为疏液性。