[发明专利]用于电镀工件的系统和方法

权利要求书

1.一种用于电镀工件的系统，所述系统包括：

容器，其适于容纳溶液以及在所述溶液内的所述工件；

第一阳极层，其包括邻近所述容器中的第一壁的至少一个第一阳极，其中所述至少一个第一阳极包括第一金属；以及

第二阳极层，其包括邻近所述第一阳极层的至少一个第二阳极，其中所述至少一个第二阳极包括不同于所述第一金属的第二金属，并且其中所述第一阳极层中的所述至少一个第一阳极和所述第二阳极层中的所述至少一个第二阳极交叠，

其中，所述第一金属和所述第二金属的相对表面面积以及所述第一阳极和所述第二阳极的三维形状是基于所述容器中可用的空间和期望的合金成分而预先确定的，以及

其中预先确定的所述相对表面面积和所述三维形状使得当分别将不同的电压施加到所述至少一个第一阳极和所述至少一个第二阳极时，在所述溶液中与所述工件的第一侧面邻近的区域处电流密度和电势分布将保持大致均匀。

2.根据权利要求1的系统，进一步包括在所述容器中邻近所述工件的至少一个挡板，

其中所述挡板包括电介质材料，以及

其中所述挡板的尺寸和所述挡板在所述容器中相对于所述工件的位置是预先确定的，使得精调在所述溶液中与所述工件邻近的区域处的电流密度和电势分布。

3.根据权利要求1的系统，其中所述第一阳极和所述第二阳极的每一个都包括以下其中之一：固体电解金属和填充有多个可溶性金属块的篮。

4.根据权利要求1的系统，其中所述三维形状是截面积为梯形、三角形、矩形和圆形的形状之一。

5.根据权利要求1的系统，进一步包括与所述容器的第二壁邻近的多个附加阳极层。

6.一种用于电镀工件的系统，所述系统包括：

容器，其适于容纳溶液以及在所述溶液内的所述工件；以及

多个阳极层，其邻近所述容器中的第一壁，

其中所述阳极层的每一个都包括多个阳极，

其中至少一个所述阳极层包括至少一个第一阳极和至少一个第二阳极，所述至少一个第一阳极包括第一金属以及所述至少一个第二阳极包括与所述第一金属不同的第二金属，以及

其中相邻阳极层中的阳极交叠，

其中，所述第一金属和所述第二金属的相对表面面积和所述多个阳极的三维形状是基于所述容器中可用的空间和期望的合金成分而预先确定的，以及

其中预先确定的所述相对表面面积和所述三维形状，使得当分别将不同的电压施加到所述至少一个第一阳极和所述至少一个第二阳极时，在所述溶液中与所述工件的第一侧面邻近的区域处电流密度和电势分布将保持大致均匀。

7.根据权利要求6的系统，其中所述阳极层中的另一个包括至少一个第三阳极，所述至少一个第三阳极包括与所述第一金属和所述第二金属不同的第三金属。

8.根据权利要求6的系统，进一步包括在所述容器中邻近所述工件处的至少一个挡板，

其中所述挡板包括电介质材料，以及

其中所述挡板的尺寸和所述挡板在所述容器中相对于所述工件的位置是预先确定的，使得精调所述溶液中与所述工件邻近的区域处的电流密度和电势分布。

9.根据权利要求6的系统，其中所述至少一个第一阳极和至少一个所述第二阳极的每一个都包括以下之一：固体电解金属和填充有多个可溶性金属块的篮。

10.根据权利要求6的系统，其中所述三维形状是截面积为梯形、三角形、矩形和圆形的形状之一。

11.根据权利要求6的系统，进一步包括与所述容器中的第二壁邻近的多个附加阳极层。