[发明专利]彩色图像传感器、彩色滤光片及其制造方法

权利要求书

1.一种彩色图像传感器的制造方法，包括下列步骤：

提供一基板，包括一感测像素阵列；

形成一金属层间介电层于该基板上，且覆盖该感测像素阵列；

毯覆式形成一第一平坦层于该金属层间介电层上；

形成一第一彩色层于该第一平坦层上；

对该第一彩色层施以曝光及显影工艺，以形成一图案化第一彩色单元于该感测像素阵列上方；

形成一第二彩色层于该第一平坦层和该图案化第一彩色单元上；

对该第二彩色层施以曝光及显影工艺，以形成一图案化第二彩色单元于该感测像素阵列上方，且与该图案化第一彩色单元相邻；

形成一第三彩色层于该第一平坦层、该图案化第一彩色单元和该图案化第二彩色单元上；以及

对该第三彩色层施以一回蚀刻工艺或化学机械研磨工艺，以形成一图案化第三彩色单元于该感测像素阵列上方，且介于该图案化第一和第二彩色单元之间。

2.如权利要求1所述的彩色图像传感器的制造方法，还包括：

形成一第二平坦层于该第一平坦层上，且覆盖该第一、第二和第三彩色单元上；以及

形成一微透镜阵列于该第二平坦层上，且对应该感测像素阵列。

3.如权利要求1所述的彩色图像传感器的制造方法，还包括形成一保护层于该金属间介电层上。

4.如权利要求1所述的彩色图像传感器的制造方法，其中该金属层间介电层为一复合层，且该复合层包含两层或两层以上的金属层间介电层。

5.如权利要求1所述的彩色图像传感器的制造方法，其中该第一、该第二与该第三彩色单元包括择自由绿色、蓝色与红色等色彩所组成族群中的一不同色彩。

6.如权利要求1所述的彩色图像传感器的制造方法，其中该第一彩色单元、该第二彩色单元与该第三彩色单元包括择自由青蓝色、洋红色与黄色等色彩所组成族群中的一不同色彩。

7.如权利要求1所述的彩色图像传感器的制造方法，其中该第一平坦层与该第二平坦层由透明树脂或光致抗蚀剂材料所组成。

8.一种彩色滤光片的制造方法，包括下列步骤：

提供一基板，具有一显示区；

于该基板上形成一遮光层且于该显示区定义出多个次像素区；

形成一第一彩色层于该基板和该多个次像素区上；

施以曝光及显影工艺，以形成一图案化第一彩色单元于所述多个次像素区上；

形成一第二彩色层于该基板、该图案化第一彩色单元和所述多个次像素区上；

施以曝光及显影工艺，以形成一图案化第二彩色单元于所述多个次像素区上；

形成一第三彩色层于该基板、该图案化第一彩色单元、该图案化第二彩色单元和所述多个次像素区上；

施以一回蚀刻工艺或化学机械研磨工艺，以形成一图案化第三彩色单元于所述多个次像素区上；以及

于该遮光层上方形成一导电层。

9.如权利要求8所述的彩色滤光片的制造方法，其中该第一彩色单元、该第二彩色单元与该第三彩色单元包括择自由绿、蓝与红等色彩所组成族群中的一不同色彩。

10.如权利要求8所述的彩色滤光片的制造方法，其中该第一彩色单元、该第二彩色单元与该第三彩色单元包括择自由青蓝色、洋红色与黄色等色彩所组成族群中的一不同色彩。

11.如权利要求8所述的彩色滤光片的制造方法，其中该电极层包括ITO、IZO、ZnO:Sn、ZnO:V、ZnO:Co、ZnO:Al、ZnO:Ga、ZnO:Ti或ZnO:In。

12.如权利要求8所述的彩色滤光片的制造方法，其中该导电层以溅镀法、蒸镀法或无电镀法镀上。

13.如权利要求8所述的彩色滤光片的制造方法，其中该遮光层的材质包括黑树脂或黑压克力。