[发明专利]磁控溅射喷涂机器人示教轨迹优化控制方法

权利要求书

1.磁控溅射喷涂机器人示教轨迹优化控制方法，其特征在于，通过计算机将获得的示教轨迹反解成机器人各轴运动的数据，将该数据传输给控制系统，并通过控制系统控制机器人的运行，使得被机器人抓着的溅射靶按照示教轨迹行走。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，控制系统接收到由计算机传输的数据后将该数据反馈给计算机，计算机将该数据进行复核。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，计算机每次传输的数据包括数据起始标记、传输数据长度、事件编号、结束标记。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，工控机接收到数据后，对数据的有效性进行校验，包括验证数据起始标记是否正确、结束标记是否正确、数据长度是否正确以及事件编号是否正确，若判断全部正确，则执行该数据，若其中任一环节错误，则清除该数据，并重新接收数据。

5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述每次传输的数据的总长度限制小于等于256个字节。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述示教轨迹为曲面三维轨迹，其通过如下方法获得：1)读取用三角形数据表示的曲面文件；2)用一个或多个平面切割曲面3)将平面与三角形两边的交点按照顺序排列，即得到曲面三维轨迹。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，用某一平面S切割曲面，将与平面S相交的三角形数据建立单链表，每个三角形数据用链表中的每一个结点表示，设链表指针为S_n，n＝1，2，3，...Max，设S_n所指向的结点中平面与三角形的交点为A_n和B_n，取任一结点中的两个交点，假设为A_i和B_i，以A_i为头结点，B_i作为尾结点，建立新的链表，用A_i的值遍历链表，找到具有相同交点的结点，假定为S_j，则下一个点为B_j，以此类推，从而得到以A_i作为头结点的链表，同样可以得到以B_i为尾结点的链表，将这两个链表连接成一个链表，即得到平面S切割形成的连续排列的曲面三维轨迹。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，将相邻两平面a、b切割得到的顺序排列的链表的首结点或尾结点相连，将平面b以及与平面b相邻的另一平面c的尾结点或首结点相连，依次类推，将多个平面切割得到的轨迹拟合成一个。

9.如权利要求7所述的方法，其还包括用距离均匀的点来表示获得的三维轨迹。

10.如权利要求7任一项所述的方法，其还包括将轨迹末端沿着轨迹切线方向延长。