[发明专利]压电元件及液体喷头

权利要求书

1.一种压电元件，具有下电极、在下电极上形成的压电膜、在所述压电膜上形成的上电极，其特征在于，

所述压电膜具有柱状结晶，该柱状结晶在所述上电极侧的结晶粒径比在所述下电极侧大，

所述压电膜的规定面取向的取向度比其他面取向的取向度高。

2.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述压电膜的(100)面的取向度比其他面的取向度高。

3.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述下电极被图案化为预定形状，仅在所述下电极上形成构成所述压电膜的多层压电层中的、作为最下层的第一压电层，使其他压电层覆盖所述下电极的端面及第一压电层的端面而形成，

所述第一压电层及在所述第一压电层的紧邻的上面形成的第二压电层构成所述下层部分。

4.如权利要求3所述的压电元件，其特征在于，所述第一及第二压电层的各自的厚度都比其他压电层各自的厚度薄。

5.如权利要求3所述的压电元件，其特征在于，所述下电极的端面及所述第一压电层的端面是倾斜面。

6.如权利要求3所述的压电元件，其特征在于，在所述压电膜的长度方向的端部附近具有与所述下电极不电连接的金属层。

7.一种液体喷头，其特征在于，具有作为液体喷出驱动源的、权利要求1～6中任一项的压电元件。