[发明专利]用于衬底传递的高温抗下垂终端受动器

权利要求书

1.一种用于衬底传送器的终端受动器，包含：

自由端，其具有配置为支撑衬底的衬底支撑表面；以及

固定端，其配置为安装在所述衬底传送器上，其中所述固定端的顶表面基本平行于所述自由端的衬底支撑表面，并且底表面具有相对于顶表面的斜面，所述斜面形成为有助于所述终端受动器的倾斜安装，并且所述固定端具有锥状。

2.根据权利要求1所述的终端受动器，其特征在于，所述自由端包含三个凸起支架，该凸起支架配置为在其上支撑衬底而不接触衬底的边缘。

3.根据权利要求1所述的终端受动器，其特征在于，所述自由端具有配置为侧面保持衬底的末端垫座。

4.根据权利要求1所述的终端受动器，其特征在于，所述固定端在终端受动器的中心线附近具有对准槽，并且所述对准槽配置为将所述终端受动器与所述衬底传送器对准。

5.一种用于衬底传送器的终端受动器，包含：

自由端，其具有配置为在其上支撑衬底的衬底支撑表面，其中所述衬底支撑表面延伸至第一平面；以及

固定端，其具有安装表面，所述安装表面配置为用以将所述终端受动器固定在所述衬底传送器，其中所述安装表面延伸至第二平面，且当衬底不位于所述终端受动器上时，所述第一平面和第二平面相交，并且所述固定端具有锥状。

6.根据权利要求5所述的终端受动器，其特征在于，所述固定端具有形成在终端受动器的中心线附近的对准槽，其配置为将终端受动器与衬底传送器对准。

7.根据权利要求6所述的终端受动器，其特征在于，所述固定端设置在衬底传送器的安装板的安装腔内，适应所述安装板和终端受动器之间的热膨胀差异。

8.根据权利要求7所述的终端受动器，其特征在于，通过将接合销穿过形成在终端受动器的中心线附近的对准槽和形成在安装板中的中心孔来将所述固定端与所述安装板对准。

9.根据权利要求5所述的终端受动器，其特征在于，所述终端受动器安装在衬底传送器上，使得在没有衬底的时候，所述衬底支撑表面与水平面成第一角度。

10.一种衬底传送器，包含：

具有安装板的操作臂；以及

配置为支撑衬底的终端受动器，其中所述终端受动器包含：

自由端，其具有配置为支撑衬底的衬底支撑表面；以及

固定端，其安装在所述操作臂的安装板上，其中所述固定端的顶表面基本平行于所述自由端的衬底支撑表面，并且底表面具有相对于顶表面的斜面，所述斜面形成为有助于所述终端受动器的倾斜安装，并且所述固定端具有锥状。

11.根据权利要求10所述的衬底传送器，其特征在于，还包括配置为将终端受动器安装在安装板上的夹具构件，其中所述终端受动器堆叠在所述夹具构件和安装板之间。

12.根据权利要求10所述的衬底传送器，其特征在于，所述固定端具有形成在终端受动器的中心线附近的对准槽，所述对准槽配置为将所述终端受动器与所述安装板对准。

13.根据权利要求10所述的衬底传送器，其特征在于，所述安装板具有安装平面，所述安装平面配置为用以容纳终端受动器的底表面，并且所述安装平面水平设置。

14.根据权利要求10所述的衬底传送器，其特征在于，所述终端受动器和安装板由不同的材料制成。

15.根据权利要求14所述的衬底传送器，其特征在于，所述终端受动器由铝制成，以及所述安装板由钛制成。