[发明专利]载物台装置的移动体

说明书

技术领域

本发明涉及载物台装置的移动体，尤其涉及在台架上沿一个轴的方向移动的载物台装置的移动体。 

背景技术

例如龙门型载物台装置采用安装了加工装置或检查装置的龙门架(移动体)在吸着在工作台上的基板(加工对象物)的上方移动，通过这样高精度地加工基板的表面或者检查基板的表面的结构(参照专利文献1)。 

并且，在载物台装置中，期待缩短加工时间或检查时间，正在进行提高移动速度的研究。另一方面，随着基板的大型化，当龙门架变长引起重量增加时，控制龙门架的移动时的定位调整时间也变长，因此正在研究使龙门架轻量化。 

但是，以往一直是通过铁的焊接结构形成龙门架以确保刚性，在想要不改变材质而减轻重量的情况下，就要削减各部分的壁厚，因此有对自重或搭载的负载引起的挠曲或扭转或加工时产生的弯曲刚性不足的危险。 

并且，在载物台装置中，存在由于加工对象物(基板)的大型化引起龙门架变长的倾向，因此存在伴随焊接的热处理、机械加工和涂装工序变得非常困难的问题。 

[专利文献1]日本特开2004-237171号公报 

发明内容

因此，本发明就是鉴于上述问题，其目的是要提供一种解决了上述问题的载物台装置的移动体。 

为了解决上述问题，本发明具有以下措施。 

本发明为一种载物台装置的移动体，被用于这样的载物台装置中，该载物台装置具有：台架；被支持在该台架上的吸附工作台；配设在该吸附工作台两侧的一对Y方向线性电动机；由上述一对Y方向线性电动机在上述台架上被驱动的移动体；以及，被设置在该移动体上、沿X方向移动的移动支架；上述台架为将铁架焊接成格子形状 的结构，在其上面放置固定有吸附加工对象物的上述吸附工作台；上述一对Y方向线性电动机，被设置在固定于上述台架上的固定底座上，该固定底座上还安装有引导移动体移动的方向的Y方向线性导向器；其特征在于，上述移动体通过铝材料的挤压加工而形成，并且，在内部确定出沿X方向延伸的中空部，并且在上述移动体的前面壁部的外侧，形成有X方向线性电动机的加工面、以及上述移动支架的前面滑动接触的引导部的加工面，在上述移动体的上面壁部的外侧形成有上述移动支架的上表面滑动接触的导向部的加工面；上述移动体整体形成有在前面壁部的内壁与背面壁部的内壁之间延伸的一对加强部，由加强部分隔的中空部被形成在3个地方，由于各加强部形成为具有沿X方向延伸的水平的面，因此与前面壁部和背面壁部成直角方向地形成。 

本发明为载物台装置的移动体，在台架上沿一个轴的方向移动，其特征在于，上述移动体由铝材料构成，内部具有中空部，通过挤压加工而形成来解决上述问题。 

并且，本发明通过使结合上述移动体的上面、下面、前面和背面的各拐角部的壁厚形成得比上述上面、下面、前面和背面的壁部的壁厚要厚来解决上述问题。 

并且，本发明通过使上述中空部具有形成为相对于上述移动体的上面、下面、前面和背面的内壁倾斜或弯曲的肋，从内侧加强上述移动体的拐角部来解决上述问题。 

并且，本发明通过使上述中空部具有从外部加工的、沿与上述移动体的加工面垂直的方向延伸的加强壁来解决上述问题。 

并且，本发明通过使上述中空部具有横架在上述移动体的前面壁部与背面壁部之间的多个加强壁来解决上述问题。 

并且，本发明通过将上述移动体的上面壁部和下面壁部形成得比上述前面壁部和背面壁部厚来解决上述问题。 

并且，本发明为载物台装置的移动体，在台架上沿一个轴的方向移动，其特征在于，上述移动体由铝材料构成，在内部具有确定出中空部的壁部，通过挤压加工而形成来解决上述问题。 

并且，本发明通过使上述壁部的截面形状由多个拐角部和直线壁部形成，上述拐角部的壁厚比上述直线壁部壁厚要厚来解决上述问题。 

并且，本发明通过使上述壁部在内面具有倾斜或弯曲的肋来解决上述问题。 

并且，本发明通过使上述壁部在外面具有加工面，并具有同与上述加工面平行的内面相垂直延伸的加强壁来解决上述问题。 

并且，本发明通过使上述壁部具有横架在相对的内面之间的多个加强壁来解决上述问题。 

并且，本发明通过使上述壁部的上面壁部和下面壁部形成得比前面壁部和背面壁部厚来解决上述问题。