[发明专利]用于微机械装置的驱动控制方法及装置

权利要求书

1.一种用于微机械装置的驱动控制方法，该微机械装置由彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层构成，该驱动控制方法包括如下步骤：

在该第一电极和该第二电极之间施加控制电压，以对该第一电极和该第二电极施加用于使该第一电极或该第二电极移位的静电力；以及

以预定周期或比该预定周期更短的周期切换该控制电压的极性。

2.如权利要求1所述的用于微机械装置的驱动控制方法，其中用于切换该控制电压的极性的预定周期为短时间周期，在该短时间周期中，在该介电层内没有发生由于空间电荷转移而导致的极化。

3.如权利要求1所述的用于微机械装置的驱动控制方法，其中用于切换该控制电压的极性的预定周期为100毫秒或更短。

4.如权利要求1所述的用于微机械装置的驱动控制方法，其中该微机械装置是能够通过该第一电极或该第二电极的位移而改变电容的可变电容元件，并且，用于切换该控制电压的极性的预定周期为短时间周期，在该短时间周期中，该第一电极与该第二电极之间的电容在开始施加该控制电压之后相对其电容初始值的改变量为10％或更小。

5.如权利要求1所述的用于微机械装置的驱动控制方法，其中该微机械装置是能够通过该第一电极或该第二电极的位移而改变电容的可变电容元件，并且，在连接该可变电容元件的电路的闲置周期中切换该控制电压的极性。

6.一种用于微机械装置的驱动控制装置，该微机械装置由彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层构成，该驱动控制装置设有控制电压施加部，用于在该第一电极与该第二电极之间施加控制电压，以对该第一电极和该第二电极施加用于使该第一电极或该第二电极移位的静电力，其中

该控制电压施加部将该控制电压施加至该第一电极和该第二电极，以预定周期或比该预定周期更短的周期切换该控制电压的极性。

7.如权利要求6所述的用于微机械装置的驱动控制装置，其中用于切换该控制电压的极性的预定周期为短时间周期，在该短时间周期中，在该介电层内没有发生由于空间电荷转移而导致的极化。

8.如权利要求6所述的用于微机械装置的驱动控制装置，其中用于切换该控制电压的极性的预定周期为100毫秒或更短。

9.如权利要求6所述的用于微机械装置的驱动控制装置，其中该微机械装置为能够通过该第一电极或该第二电极的位移而改变电容的可变电容元件，并且，用于切换该控制电压的极性的预定周期为短时间周期，在该短时间周期中，该第一电极与该第二电极之间的电容在开始施加该控制电压之后相对其电容初始值的改变量为10％或更小。

10.如权利要求6所述的用于微机械装置的驱动控制装置，其中该微机械装置为能够通过该第一电极或该第二电极的位移而改变电容的可变电容元件，并且，在连接该可变电容元件的电路的闲置周期中切换该控制电压的极性。

11.一种可变电容开关，由微机械装置制成，该微机械装置包括彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层，当在该第一电极与该第二电极之间施加控制电压时，该第一电极或该第二电极发生位移，以导通或断开电路，其中

选择并形成该介电层的材料和厚度，使得在以5毫秒的周期切换该控制电压的极性时，该第一电极与该第二电极之间的电容相对其电容初始值的改变量为10％或更小。

12.如权利要求11所述的可变电容开关，还包括：

绝缘膜，随着该第一电极或该第二电极的位移而移位；

第三电极，被提供给该绝缘膜；

第四电极，与该第三电极相对；以及

第二介电层，形成在该第三电极与该第四电极之间，其中

随着该绝缘膜移位，该第三电极与该第四电极之间的空间发生变化，这种空间变化导致阻抗改变，以切换电路的导通或断开。