[发明专利]振动板单元的制造方法及振动板单元的制造装置

权利要求书

1.一种电容式麦克风用振动板单元的制造方法，上述电容式麦克风用振动板单元是在振动板保持体上张紧设置振动板而构成的，其特征在于，上述制造方法至少按顺序具有下述工序：

在振动板保持体的一面侧涂敷粘接剂的工序A；

将上述振动板保持体的粘接剂涂敷面推按在振动板上，对上述振动板施加适当张力的工序B；

测量施加了张力的振动板的共振频率的工序C；和

在上述振动板的共振频率成为规定的共振频率时，使上述粘接剂硬化的工序D。

2.如权利要求1所述的振动板单元的制造方法，其特征在于，

工序A采用紫外线硬化树脂作为粘接剂；工序D通过照射紫外线进行粘接剂的硬化。

3.如权利要求1或2所述的振动板单元的制造方法，其特征在于，

利用张力测量装置来进行工序C，

上述张力测量装置至少具有：

驱动电极，其与被施加了张力的振动板隔开规定间隙地配置；

测量用麦克风，其对从振动板发出的声波进行拾音；

电压放大器，其将从测量用麦克风输出的麦克风输出信号放大并发送给上述驱动电极，以对上述振动板进行静电驱动；和

频率计，其测定上述麦克风输出信号的频率。

4.如权利要求3所述的振动板单元的制造方法，其特征在于，

通过利用张力测量装置推压振动板保持体的另一面侧来进行工序B。

5.一种电容式麦克风用振动板单元的制造装置，上述电容式麦克风用振动板单元是在振动板保持体上张紧设置振动板而构成的，其特征在于，上述振动板单元的制造装置至少具有：

在振动板保持体的一面侧涂敷粘接剂的第一构件；

将上述振动板保持体的粘接剂涂敷面推按在振动板上，对上述振动板逐渐施加张力的第二构件；

测量施加了张力的振动板的共振频率的第三构件；和

在上述振动板的共振频率成为规定的共振频率时，使上述粘接剂硬化的第四构件。