[发明专利]歧管阀

说明书

技术领域

本发明涉及在化学工厂、半导体制造、食品、生物等各种工业领域的配管线路的流道的切换中所使用的歧管阀，更详细地说，涉及能够在一方的阀能够进行开闭操作时将另一方的阀保持为不能进行开闭操作、紧凑且能够容易地设置在配管线路上或者从配管线路上拆卸的歧管阀。

背景技术

以往，在半导体制造的配管线路中，具有如图12所示的包括主流道阀102和分支阀104的配管结构，其中所述主流道阀对流过主流道101的流体进行开闭，所述分支阀104对从主流道101分支的分支流道103进行开闭。在使主流道101的流体流动停止、更换配管线路的部件105等时，将配管线路内残留的流体从分支流道103向外部取出，由此能够不使流体向周围飞散地进行部件更换。

但是，在所述以往的配管结构中，具有下述问题：在打开主流道阀102而使流体流过主流道101时必须预先将分支阀104关闭，在打开分支阀104而使流体流过分支流道103时必须预先将主流道阀102关闭，因此具有对所述各阀102、104进行误操作的危险，例如在流体为腐蚀性流体、关闭主流道阀102而进行配管线路的部件105的更换时，误操作主流道阀102而将其打开，在这种情况下，会有流过主流道101的流体向外部飞散、腐蚀性流体溅到更换部件的操作者身上而使其受到损伤的危险，或者产生飞散的流体污染或腐蚀配管线路周边等较坏影响的危险。

为了解决这样的问题点，需要设为在对一方的阀进行开闭时不能操作另一方的阀的结构，作为出于该目的的方法，具有专利文献1所记载的图13所示的阀的开闭操作装置。其结构为：在输送性状不同的流体的第一管路106和第二管路107上，分别设置有第一阀116和第二阀117，该第一阀和第二阀分别具有围绕与各管路106、107的管轴垂直的轴线进行角变位、打开·切断各管路106、107的流道的第一阀芯108阀和第二阀芯109阀；在各管路106、107上，分别连结有在与轴线垂直的一个平面内具有凸状部分110、112和凹状部分111、113的第一限制部件114、第二限制部件115；互相相邻的任意两个限制部件114、115中的一方的凹状部分111形成为避开另一方的凸状部分112的角变位方向的通过路径，并且另一方的凹状部分113形成为避开一方的凸状部分110的角变位方向的通过路径，一方以及另一方的各凸状部分110、112形成为向相互的角变位方向的通过路径内突出。其效果是：在分别输送性状不同的流体的两个管路中，能够仅在第二限制部件115的凸状部分112嵌入第一限制部件114的凹状部分11 1的状态下进行第二限制部件115的角变位操作，另外能够仅在第一限制部件114的凸状部分110嵌入第二限制部件115的凹状部分113的状态下进行第一限制部件114的角变位操作，由此能够仅对具有嵌入凹状部分111、113的凸状部分110、112的限制部件114、115进行角变位，所以能够防止将多个阀芯同时打开，能够防止限制部件114、115的误操作。

专利文献1：日本特开平7-332535号公报

但是，所述以往的阀的开闭操作装置具有下述问题：由于设置在第一阀116上的第一限制部件114和设置在第二阀117上的第二限制部件115被分别设置在第一管路106、第二管路107上，所以在为了将凸状部分110、112与凹状部分111、113嵌合而进行配管连接时必须对配管位置进行微妙的调整，配管作业麻烦且需要时间，并且在将一方的阀拆卸时另一方的阀成为障碍，所以拆卸困难。另外，具有下述问题：在用于半导体制造装置等的配管线路中时，第一限制部件114和第二限制部件115需要空间，所以不适于在狭窄的场所使用；由于第一阀116、第二阀117是球阀、旋塞等旋转阀，所以不适于不希望产生颗粒的用途。

发明内容

本发明是鉴于上面的以往技术的问题点而发明的，其目的在于提供一种能够在一方的阀能够进行开闭操作时将另一方的阀保持为不能进行开闭操作、紧凑且能够容易地设置在配管线路上或者从配管线路上拆卸的歧管阀。

对用于解决上述课题的本发明的歧管阀的结构进行说明。