[发明专利]流体提纯装置

权利要求书

1.一种流体提纯装置，其包括：

包括第一内侧容室和第二内侧容室的罐，其中，可渗透流体 的支承将第一内侧容室和第二内侧容室隔开，所述第一内侧容室 容纳提纯材料，所述第二内侧容室容纳包含杂质的流体；以及

位于所述流体和所述可渗透流体的支承之间的膜，其中，所 述膜防止所述流体接触所述提纯材料直至膜破裂。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述提纯材料上 沉积有金属化合物。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述膜包括金属 或聚合物。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述罐包括流体 存储瓶。

5.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述金属化合物 包括还原价金属，该还原价金属包括铝、镁、钛、锆、钒、铬、 钼、钨、锰、锌、锂、钠、铅、铋、钴、铈、镍、铜或铁。

6.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述金属化合物 包括金属氢化物，该金属氢化物包括铝、镁、钛、锆、钒、铬、 钼、钨、锰、锌、锂、钠、铅、铋、钴、铈、镍、铜或铁的氢化 物。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述提纯材料包 括氧化铝、二氧化硅、沸石、铝硅酸盐、氧化锆、碳、聚合物或 氧化钛。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述提纯材料的 单位重量表面积是从0.1m²/g到1000m²/g。

9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述提纯材料的 单位重量表面积是从10m²/g到100m²/g。

10.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述提纯材料的 孔径尺寸等于或大于0.1nm。

11.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述提纯材料的 孔径尺寸等于或大于2nm。

12.如权利要求1所述的装置，其特征在于，流体包括有机金 属化合物。

13.如权利要求12所述的装置，其特征在于，所述有机金属 化合物包括一个或多个基团。

14.如权利要求12所述的装置，其特征在于，所述有机金属 化合物中的金属包括IIa、IIb、IIIb、IVb、Vb或VIb族金属。

15.如权利要求12所述的装置，其特征在于，所述有机金属 化合物包括烷基胺-铝烷、金属烷基肼、三甲基镓、三甲基铝或三 甲基铟。

16.如权利要求12所述的装置，其特征在于，所述有机金属 化合物中的金属包括铝、镓、锗、锡、锑、镁、锌或铟。

17.如权利要求1所述的装置，其特征在于，流体包括叔丁基 膦(tertiary butyl phosphine)。

18.如权利要求1所述的装置，其特征在于，流体包括磷、氮、 砷、硫、硒或碲的有机化合物。

19.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述杂质包括含 氧化合物。

20.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述杂质包括分 子氧、水、一氧化碳、二氧化碳、醚、醇、醇盐、金属、氢化物、 羰基金属、金属卤化物、碳氢化合物、有机金属氧化物或烷基醚 加合物。

21.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述杂质包括金 属氢化物。

22.如权利要求1所述的装置，还包括载气，以将流体输送出 罐。

23.如权利要求22所述的装置，其特征在于，所述载气包括 氢、氦、氩或氮。

24.如权利要求1所述的装置，其特征在于，可渗透流体的支 承包括陶瓷玻璃料、穿孔金属盘或多孔聚合物。