[发明专利]集成常闭PDMS微阀及制备工艺和含有该微阀的微泵

权利要求书

1.一种集成常闭PDMS微阀，其特征在于：该微阀包括上下两片玻璃片(1)、(3)和位于两片玻璃之间的PDMS薄膜(2)，其中上片玻璃(1)只含有样品池，下片玻璃(3)只含有气路控制孔，流体通道和气路控制通道分别成型于PDMS薄膜(2)的两面。

2、一种如权利要求1所述的集成常闭PDMS微阀的制备工艺，其特征在于：步骤分为：

首先分别制作光刻胶的液路阳模板和气路阳模板，并且进行硅烷化处理；

其次把PDMS单体与交联剂混合均匀，利用机械泵抽气的方法去除气泡，把除去气泡的PDMS溶液缓慢均匀地倒到液路阳模板上，然后将气路阳模板盖在PDMS上，气路和液路阳模板间隔100～500微米，将气路模板和液路模板对准，施加0.1～0.5公斤压力，在70～90℃下恒温1.0～2.0小时，使PDMS凝固成型后，将PDMS薄膜取出；

最后将PDMS薄膜密封于已经钻好孔的两片玻璃中间，便完成了整个集成PDMS常闭微阀。

3、按照权利要求2所述的集成常闭PDMS微阀的制备工艺，其特征在于：所述的液路阳模板由SU-8胶经显影形成或铬版玻璃经光刻显影、蚀刻形成。

4、按照权利要求2所述的集成常闭PDMS微阀的制备工艺，其特征在于：所述的气路阳模板由SU-8胶经显影或铬版玻璃经光刻显影、蚀刻形成。

5、按照权利要求3所述的集成常闭PDMS微阀的制备工艺，其特征在于：所述的气路阳模板由SU-8胶经显影或铬版玻璃经光刻显影、蚀刻形成。

6、按照权利要求2至5之一所述的集成常闭PDMS微阀/微泵的制备工艺，其特征在于：PDMS单体与交联剂按体积比6:1～12:1混合。

7、一种集成常闭PDMS微泵，其特征在于：该微泵包括三个串联的集成常闭PDMS微阀(4)，每个集成常闭PDMS微阀包括上下两片玻璃片(1)、(3)和位于两片玻璃之间的PDMS薄膜(2)，其中上片玻璃只含有样品池，下片玻璃只含有气路控制孔，流体通道和气路控制通道分别成型于PDMS薄膜的两面。