[发明专利]基于SEMI标准的SECS通信方法

说明书

技术领域

本发明属于网络通信技术，具体地说是一种基于SEMI标准的SECS通 信方法。

技术背景

目前国内半导体厂投资已朝向12英寸晶圆发展，其晶圆生产工序日渐 复杂，而很多生产设备可能来至不同的设备制造厂商，这就给晶圆加工和 设备管理带来困难。

半导体产业中要求制造设备对大面积晶圆材料的操作具有高真空、高 洁度、高无尘等特性，采用传统的晶圆搬运方式已经不能满足先进的半导 体生产中对晶圆高品质的需要。

由于晶圆面积的需求不断加大，使单一晶圆能制造的IC数增加，因此 制造方式已由成批次的制造发展为以单一晶圆方式的制造。这样就造成了 产量下降和生产成本提高。

目前国内并没有公司开发出相关软件，市场上没有国内自主开发的软 件产品。国内半导体设备制造商所使用软件主要是直接购买国外产品或购 买授权以进行简单的二次开发，目前普遍面临设备和控制系统老化，不符 合SEMI标准等问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种基于SEMI标准的SECS通信方法，通过该组 件可以方便的管理和监控晶圆生产设备使之可以在高洁度、高无尘的环境 中工作，同时可以实现设备间的相互配合来提高产量、降低成本，为构建 自动化的半导体工厂提供了有效途径。

为了实现上述目的，本发明的技术解决方案如下：包括HSMS通信模 块实现设备到主机的连接，并通过网络进行数据传输步骤；及通过SECS 协议模块进行SECS II编解码，实施数据收集、设备控制和异常处理步骤；

HSMS模块设备端连接主机端的步骤为：如果已经建立连接则退出该 步骤，没有建立连接则判断连接间隔计时器是否超时，如果没有超时则退 出该步骤，如连接间隔计时器已超时则进行网络层套接字连接，启动接收 数据线程，启动连接间隔计时器，设置连接状态，启动选择计时器，向主 机发送选择请求数据包，如果在选择计时器超时前未接收到主机发来的应 答数据包则断开与主机的连接；HSMS请求数据传输中的发送步骤为：采 用HSMS消息格式对请求消息进行编码，如果该请求需要应答则将请求消 息加入应答队列中并启动回复计时器，如果该请求消息不需要应答则关闭 回复计时器；向主机/设备发送编码后的数据包；如果发送数据包失败或回 复计时器超时则断开与主机/设备的连接，关闭回复计时器并将该请求消息 从应答队列中清除；如果发送数据包成功并且回复计时器未超时则关闭回 复计时器并将该请求消息从应答队列中清除；HSMS请求数据传输中的接 收应答步骤为：对接收到的消息数据进行HSMS解码，如果该消息在应答 队列中则响应应答事件，如果该消息不在应答队列中则进一步判断该消息 是否在请求队列中，如果不在请求队列中则退出该步骤并丢弃该数据包， 否则该应答消息在请求队列中则响应请求事件；

SECS II编码步骤为：先合成类型长度位，将类型长度位压栈，将数据 长度压栈，如果编码类型为列表则依次获取列表项并重复此编码步骤，如 果编码类型不为列表则将数据内容压栈；SECS II解码步骤为：类型长度位 出栈，数据长度出栈，如果编码类型为列表则依次获取列表项并重复此解 码步骤，如果编码类型不为列表则将数据内容出栈；数据收集的步骤为： 当主机进行动态数据采集时，主机向设备发送报告初始化请求数据包，在 时间间隔不为零时，备收到该请求数据包后将变量标识列表放入本地的报 告标识所对应的数据收集队列中，并根据采集时间间隔启动跟踪计时器进 入数据收集循环，如果跟踪计时器超时则根据报告中定义的变量标识读取 设备IO数据，并将变量的IO数据发送到主机，等待主机返回确认信息； 如果主机向设备发送报告初始化请求数据包时将采集间隔时间设置为零， 则设备则关闭跟踪计时器，清除报告标识所对应的数据收集队列；

设备控制的步骤为：主机向设备发送控制请求，设备收到该请求后进 行指令执行并向主机返回确认信息；异常处理的步骤为：当设备产生报警 或异常时，首先检查报警屏蔽队列是否含有该报警标识，如果该报警标识 包含在报警屏蔽队列中则退出该步骤，如果该报警标识包未含在报警屏蔽 队列中，在当设备报警未被清除、设置标志位为1时设备向主机发送报警 请求数据包，主机收到该报警数据包后向设备返回确认数据包；当设备报 警被清除时改变标志位为0、设备向主机发送报警请求数据包，主机收到该 报警数据包后向设备返回确认数据包。

本发明具有如下优点：