[发明专利]提高碳化硅泡沫陶瓷高温抗氧化性能的表面涂层制备方法

权利要求书

1.提高碳化硅泡沫陶瓷高温抗氧化性能的表面涂层制备方法，其特征在于： 

第一步，将碳化硅泡沫陶瓷在700～1300℃下预氧化处理1～10小时； 

第二步，经第一步处理的碳化硅泡沫陶瓷在惰性气氛或者真空下，在离子溅射镀膜机内，利用Al金属靶材，在泡沫陶瓷表面溅射一层金属Al ； 

第三步，经第二步处理的碳化硅泡沫陶瓷在常温空气气氛下放置10～24小时后，在500～1200℃氧化气氛下氧化处理1～20小时，然后再通入Ar或N₂保护气体升温至1200～1550℃保温0.5～2小时。 

2.根据权利要求1所述的提高碳化硅泡沫陶瓷高温抗氧化性能的表面涂层制备方法，其特征在于，所述第一步中，预氧化条件为：空气气氛，温度700～1300℃下预氧化处理1～10小时，在表面形成SiO₂层，厚度为2～10μm。 

3.根据权利要求1所述的提高碳化硅泡沫陶瓷高温抗氧化性能的表面涂层制备方法，其特征在于，所述第二步中，经第一步处理的碳化硅泡沫陶瓷表面溅射一层Al金属，具体步骤如下： 

(1)将Al金属靶材安装在离子溅射机内靶台上； 

(2)将经第一步处理的碳化硅泡沫陶瓷超声清洗、烘干，安装在可进行连续三维运动基材转台上； 

(3)使溅射室真空抽至1～5×10^-3Pa，或者抽真空后通入惰性气氛Ar气或He气； 

(4)金属靶功率在500～1500W之间，基材偏压在-100至-400V之间，样品转速在1～15rpm之间，沉积Al金属膜厚度控制在1～50μm之间。 

4.根据权利要求1所述的提高碳化硅泡沫陶瓷高温抗氧化性能的表面涂层制备方法，其特征在于，所述第三步中，常温空气气氛下放置时间为20小时，氧化处理的温度为1150℃，时间为5小时；保护气氛处理温度为1350℃，保护气体为Ar或N₂，保温时间为1小时。