[发明专利]石英表面化学粗糙处理方法无效
| 申请号： | 200810013316.9 | 申请日： | 2008-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN101367618A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 米山 | 申请（专利权）人： | 沈阳汉科半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03C19/00 |
| 代理公司： | 沈阳科威专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刁佩德 |
| 地址： | 110141辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英 表面 化学 粗糙 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英表面化学粗糙处理方法，其特征在于：将石英产品表面进行火抛光后，在常温、常压下浸入盛有处理液的容器内反应，反应两小时后取出，用去离子水洗净所述石英产品表面的附着物氟硅酸氨，每次用所述去离子水冲洗15-20分钟，洗净后再次浸入所述处理液中重复上述反应，直至所述石英产品表面粗糙度均匀，呈不透明状态，使处理后的表面粗糙度Ra＝1.5μm～4.5μm；所述处理液的制备步骤如下：先选用溶液浓度为40％的分析纯氢氟酸和溶液浓度为99％的固体分析纯氟化铵混合，然后加入溶液浓度为99.5％的分析纯乙酸配置成处理液备用；所述处理液中所用原料质量比为：氢氟酸∶氟化铵∶乙酸＝(2-6)∶(4-7)∶(8-11)；所述处理液的用量以完全侵没所述石英产品为宜。
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