[发明专利]用于多晶体“碳头料”硅碳分离的腐蚀液及其制备方法

权利要求书

1.一种用于多晶体“碳头料”硅碳分离的腐蚀液，按质量百分比由以下组分混合组成：

电子级浓硫酸        85％～97％；

二氧化锰            1％～5％；

双氧水              1％～5％；

氢氟酸              1％～5％；

上述各组分的总量为100％。

2.一种权利要求1所述硅碳分离腐蚀液的制备方法，其特征在于，该方法按以下步骤进行：

步骤1：按质量百分比分别取二氧化锰1％～5％、双氧水1％～5％、氢氟酸1％～5％和电子级浓硫酸85％～97％，上述各组分的总量为100％；

步骤2：将上步取得的二氧化锰、双氧水和氢氟酸混合并充分搅拌，形成混合液；

步骤3：将步骤2得到的混合液少量多次加入浓硫酸中，充分搅拌，即得。