[发明专利]双动镜干涉仪

权利要求书

1. 一种双动镜干涉仪，包括45度角设置在入射光束光路上的一个分束器，该分束器在入射光束方向上第二个面为半反射面；还包括设置在上述半反射面透射光束光路上的平面反射镜，所述平面反射镜与分束器正交；还包括设置在光束光路上的第一动镜和第二动镜、以及探测器和将经第一动镜和第二动镜反射的光束会聚到探测器上的收集镜；

其特征在于：

所述的第一动镜位于所述半反射面的反射光路上，所述的第二动镜位于所述平面反射镜的反射光路上；所述的第一动镜和第二动镜被一个刚性结构固定在一起，作为一个单独的运动部件，第一动镜和第二动镜相互平行，所述的第一动镜和第二动镜与分束器以及平面反射镜之间的夹角均为45度。

2. 根据权利要求1所述的双动镜干涉仪，其特征在于：所述的分束器与平面反射镜之间的光路上还设置有同时补偿各种波长光程差的补偿板。

3. 根据权利要求1所述的双动镜干涉仪，其特征在于：所述的分束器与第一动镜之间的光路上设置有玻璃平行平板，该平行平板可减小第一动镜和第二动镜之间的距离。

4. 根据权利要求1～3任一所述的双动镜干涉仪，其特征在于：所述的刚性结构应满足其膨胀系数和双动镜的膨胀系数相接近。

5. 根据权利要求4所述的双动镜干涉仪，其特征在于：所述的收集镜为会聚透镜或会聚透镜组。