[发明专利]一种喇叭网的蚀刻法生产工艺无效

专利信息
申请号: 200810018078.0 申请日: 2008-04-28
公开(公告)号: CN101271275A 公开(公告)日: 2008-09-24
发明(设计)人: 郑建博;杨志岗 申请(专利权)人: 彩虹集团电子股份有限公司
主分类号: G03F7/12 分类号: G03F7/12;H04R31/00
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 代理人: 朱海临
地址: 71202*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 喇叭 蚀刻 生产工艺
【权利要求书】:

1.一种喇叭网的蚀刻法生产工艺,其特征在于,包括下述工序:

(1)制版:用CAD制图,采用光绘机制作玻璃工作版或菲林胶片版;

(2)备料:将钢带卷安装到放卷架上,或用剪板机将卷材切成单块板材;

(3)除油:对钢带或单块板材用清洗剂进行除油,再经过工业水及纯水进行清洗干燥;

(4)感光材料涂敷:对经过除油的钢带用PVA感光胶涂敷,而后进入干燥炉进行烘干;对除油后的单块板材用丝网涂敷感光性抗蚀油墨,一面涂墨完成后在红外烘干机中烘干后再对另一面用同样的工艺进行涂墨、烘干;

(5)曝光:将经过感光胶涂敷和烘干的钢带夹在玻璃工作版中进行紫外线双面曝光,或将已烘干的油墨单块板材夹在菲林胶片版中间进行紫外线双面曝光;

(6)显影:用纯水对经过曝光的钢带进行显影;或用Na2CO3溶液作为显影液,对单块板材进行显影,将未被曝光的部分显影掉,保留曝过光的图形;

(7)固化:显影过的钢带经过铬酸溶液坚膜,而后经过气割和固化炉固化;或将显影后的单块板材在烘箱中加热固化;

(8)蚀刻:经过固化的钢带或单块板材进入腐蚀室在FeCl3溶液中进行蚀刻,或采用蚀刻机喷淋FeCl3溶液蚀刻;

(9)剥膜:经过蚀刻的钢带在60~110℃的NaOH溶液中进行剥膜处理;或将经过蚀刻的单块板材放入90℃±10℃的NaOH溶液进行剥膜处理;

(10)清洗烘干:钢带在剥膜处理后,依次经过水洗、中和、再水洗、纯水洗后烘干;单块板材剥膜处理后,用清水、纯水清洗后烘干。

2.如权利要求1所述喇叭网的蚀刻法生产工艺,其特征在于,所述步骤(1)中,制版按A=T/2计算,其中A为腐蚀余量,T为原材料厚度。

3.如权利要求1所述喇叭网的蚀刻法生产工艺,其特征在于,所述步骤(4)中,PVA感光胶涂敷厚度控制在5.0~10.0μm。

4.如权利要求1所述喇叭网的蚀刻法生产工艺,其特征在于,所述步骤(5)中,曝光时间:钢带为30~50s;单块板材为3~8s。

5.如权利要求1所述喇叭网的蚀刻法生产工艺,其特征在于,所述步骤(6)中,钢带显影温度为20~50℃,显影压力为0.05~0.20Mpa;单块板材显影温度45℃±5℃,显影压力0.25±0.05Mpa;显影液Na2CO3溶液的浓度为2.0~5.0%。

6.如权利要求1所述喇叭网的蚀刻法生产工艺,其特征在于,所述步骤(7)中,铬酸溶液的浓度为1.60±0.50%。

7.如权利要求1所述喇叭网的蚀刻法生产工艺,其特征在于,所述步骤(8)中,FeCl3溶液的疲劳度为5~15%、游离酸浓度为1.5~2.5%、波美为48.0±5.0Be′,腐蚀温度为40~55℃,腐蚀压力为0.20~0.50Mpa。

8.如权利要求1或7所述喇叭网的蚀刻法生产工艺,其特征在于,所述用蚀刻机喷淋蚀刻经过八个喷淋室,每个喷淋室泵的压力均为0.20~0.40Mpa。

9.如权利要求1所述喇叭网的蚀刻法生产工艺,其特征在于,所述步骤(9)中,NaOH溶液的浓度为10~20%。

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