[发明专利]新型双角反射体干涉仪

权利要求书

1.一种新型双角反射体干涉仪，包括设置在入射光束光路上的一个分束器；还包括设置在上述分束器半反射面反射光束光路上的第一平面镜、第二平面镜和设置在上述分束器半反射面透射光束光路上的第三平面镜、第四平面镜，所述第一平面镜设置在上述分束器和第二平面镜之间的光束光路上，所述第三平面镜设置在上述分束器和第四平面镜之间的光束光路上；还包括设置在上述第一平面镜和第二平面镜之间光束光路上的第一角反射体和设置在上述第三平面镜和第四平面镜之间光束光路上的第二角反射体；还包括探测器、以及将经第二平面镜和第四平面镜反射的光束会聚到探测器上的收集镜；

其特征在于：

所述的第一角反射体和第二角反射体被一个刚性结构背对背地固定在一起作为一个单独的运动部件；所述的第一角反射体的顶点与第二角反射体的顶点之间的距离极小；所述的第一角反射体和第二角反射体沿分束器半反射面的法线方向做直线往复运动；所述的第一平面镜和第三平面镜关于分束器半反射面对称；所述的第二平面镜和第四平面镜关于分束器半反射面对称；所述的第二平面镜、第四平面镜、分束器半反射面之间相互平行；所述的分束器、第一平面镜、第二平面镜、第三平面镜、第四平面镜的中心位于同一个平面内。

2.根据权利要求1所述的新型双角反射体干涉仪，其特征在于：所述的分束器45度角设置在入射光束光路上，该分束器为两块胶合的平面平行玻璃平板，胶合面的一个面为分束器半反射面；所述的第一平面镜和第三平面镜与分束器半反射面的夹角均为22.5度。

3.根据权利要求1所述的新型双角反射体干涉仪，其特征在于：所述的分束器为两块胶合的直角棱镜，直角棱镜的斜面为胶合面，胶合面的一个面为分束器半反射面；所述的第一平面镜和第三平面镜与分束器半反射面的夹角均为22.5度。

4.根据权利要求1所述的新型双角反射体干涉仪，其特征在于：所述的分束器30度角设置在入射光束光路上，该分束器为两块胶合的平面平行玻璃平板，胶合面的一个面为分束器半反射面；所述的第一平面镜和第三平面镜与分束器半反射面的夹角均为30度。

5.根据权利要求1所述的新型双角反射体干涉仪，其特征在于：所述的分束器为两块胶合的等边三角形棱镜，胶合面的一个面为分束器半反射面；所述的第一平面镜和第三平面镜与分束器半反射面的夹角均为30度。

6.根据权利要求2～5任一所述的新型双角反射体干涉仪，其特征在于：所述的收集镜为会聚透镜或会聚透镜组。