[发明专利]全禁带三维光子晶体压印成型方法及全禁带三维光子晶体结构无效

专利信息
申请号: 200810018360.9 申请日: 2008-06-03
公开(公告)号: CN101303524A 公开(公告)日: 2008-11-12
发明(设计)人: 刘洪忠;丁玉成;李欣;蒋维涛;连芩;卢秉恒 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 代理人: 徐文权
地址: 710049*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 全禁带 三维 光子 晶体 压印 成型 方法 晶体结构
【权利要求书】:

1.一种全禁带三维光子晶体的纳米压印制作方法,包括下列步骤:

步骤一、选取适合材料,使单分散胶体颗粒(8)和高分子聚合物基体材料(7)间产生大于2的介电常数比;

步骤二、制备压印模板(1),使其凸起部分(2)符合面心立方111面(5)上的基元位置,在压印模板(1)上溅射沉积金属薄层(3),并用特氟龙层(4)遮蔽压印模板凹陷部分的金属薄层(3);

步骤三、首先在平面基材(6)表面上均匀涂铺一层液态高分子聚合物基体材料(7),待其自由流平;

步骤四、采用电晕荷电方式处理单分散胶体颗粒(8),使单分散胶体颗粒(8)表面分布有负电荷(9);

步骤五、外接高压电源,调节高压电源电压的大小,使压印模板凸起部分(2)所带的正电荷(10)的大小恰好能满足在压印模板(1)的每一个凸起部分吸附一个带有负电荷(9)的单分散胶体颗粒(8);压印模板凸起部分(2)即带正电荷(10),使压印模板凸起部分(2)吸附带有负电荷(9)的单分散胶体颗粒(8);

步骤六、采用微接触式纳米压印工艺,使已吸附单分散胶体颗粒(8)的压印模板(1)接触高分子聚合物基体材料(7),单分散胶体颗粒(8)在高分子聚合物基体材料(7)上形成面心立方111面(5)的二维结构;

步骤七、改变外接高压电源电压方向,使压印模板凸起部分(2)的正电荷(10)变为负电荷(9),单分散胶体颗粒(8)与压印模板(1)间的吸附作用变为排斥作用,脱去压印模板(1);

步骤八、按上述步骤叠加多层相同的二维结构,并用高分子聚合物基体材料(7)将制得的结构顶层涂铺成水平面,之后待高分子聚合物基体材料完全固化后即得全禁带三维光子晶体。

2.根据权利要求1所述纳米压印制作方法,其特征在于:所述压印模板凹陷部分的金属薄层(3)由铜或者铝构成。

3.根据权利要求1所述纳米压印制作方法,其特征在于:所述均匀涂铺的液态高分子聚合物基体材料(7)是硅橡胶或者聚甲基丙烯酸甲酯。

4.根据权利要求1所述纳米压印制作方法,其特征在于:所述采用电晕荷电方式处理的单分散胶体颗粒(8)为聚苯乙烯、二氧化硅或者二氧化钛。

5.根据权利要求1所述纳米压印制作方法,其特征在于:所述压印模板吸附单分散胶体颗粒(8)时,采用的高压电源的调节范围为500V-500kV。

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