[发明专利]带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片及其制备方法

权利要求书

1.一种带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片，包括多孔氧化铝薄膜，其特征在于：所述多孔氧化铝薄膜的孔为直线型通孔，所述直线型通孔的孔径为40～60nm，其孔壁上置有两层以上的分叉孔，所述分叉孔的孔径为20～40nm，其与直线型通孔间的夹角为50～70度，所述分叉孔间的直线型通孔构成的主干层和分叉孔构成的分叉层呈周期性变化，所述薄膜的厚度为60～180μm。

2.根据权利要求1所述的带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片，其特征是分叉孔为与直线型通孔的轴线对称的二分叉孔。

3.根据权利要求2所述的带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片，其特征是直线型通孔壁上的二分叉孔的层数为≥340层。

4.根据权利要求3所述的带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片，其特征是主干层的厚度为150～450nm，分叉层的厚度为40～70nm。

5.根据权利要求1所述的带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片的制备方法，包括阳极氧化法，其特征在于是按以下步骤完成的：将铝片置于浓度为0.2～0.4M的酸溶液中，于弧齿波电压下阳极氧化至少5min，其中，弧齿波电压的波幅为22～50V、波前沿为45度、波周期为2.5～3.5min，制得带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片。

6.根据权利要求5所述的带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片的制备方法，其特征是铝片的纯度为≥99.9％。

7.根据权利要求5所述的带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片的制备方法，其特征是酸溶液为草酸溶液或磷酸溶液或硫酸溶液或其两种以上的混液。

8.根据权利要求5所述的带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片的制备方法，其特征是于弧齿波电压下阳极氧化14～20h。