[发明专利]多晶硅还原炉之水冷电极无效

专利信息
申请号: 200810018699.9 申请日: 2008-03-12
公开(公告)号: CN101311660A 公开(公告)日: 2008-11-26
发明(设计)人: 张旭平;刘成玲;张世萍;高培利;浩南楠 申请(专利权)人: 江苏双良锅炉有限公司
主分类号: F27D11/02 分类号: F27D11/02;F27B5/04;C30B25/10;C30B29/06;C01B33/03
代理公司: 江阴市同盛专利事务所 代理人: 唐纫兰
地址: 214444江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 多晶 还原 水冷 电极
【权利要求书】:

1、一种多晶硅还原炉之水冷电极,其特征在于所述电极包括加热体(1)、石墨头(2)、电极体(3)、电源夹具(4)、冷却水进口管(5)和冷却水出口管(6),加热体(1)和电极体(3)分别设置在石墨头(2)二端,电源夹具(4)夹置在电极体(3)的外缘,冷却水进口管(5)由电极体(3)一端插入电极体(3)中心空腔内,冷却水出口管(6)设置在电极体(3)的一端,与电极体(3)中心空腔相连通。

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