[发明专利]一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法有效
| 申请号： | 200810019237.9 | 申请日： | 2008-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN101216663A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 陈林森 | 申请（专利权）人： | 陈林森 |
| 主分类号： | G03F5/02 | 分类号： | G03F5/02;G03F7/00;H01S5/00;G02B6/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215021江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 背光 模组 精密 薄膜 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法，其特征在于：将紫外激光束经扩束、准直照在数字微反射镜上，根据待制作的导光网点形状控制数字微反射镜，出射光通过含有4F光路的投影光学系统在紫外光刻胶干板表面刻蚀导光网点；依次改变出射光与光刻胶干板的相对位置，完成各个所需导光网点的刻蚀；刻蚀后的光刻胶干板经表面金属化处理后，再进行电铸，获得所需的光导薄膜模仁。
2.根据权利要求1所述的背光模组精密光导薄膜模仁制造方法，其特征在于：所述紫外激光束由紫外激光器产生，采用半导体泵浦的固态激光器的三倍频351nm/355nm，单脉冲能量＞100uJ，脉冲频率和脉冲能量可调。
3.根据权利要求1所述的背光模组精密光导薄膜模仁制造方法，其特征在于：所述紫外激光束经数字微反射镜、4F光路投影系统后，所成的是数字微反射镜上的网点形状的缩小的像。
4.根据权利要求1所述的背光模组精密光导薄膜模仁制造方法，其特征在于：在分别刻蚀各个所需导光网点时，根据所刻蚀的导光网点的形状和大小控制所述数字微反射镜。
5.根据权利要求1所述的背光模组精密光导薄膜模仁制造方法，其特征在于：所述光刻胶干板的涂胶厚度范围为5～80um。
6.根据权利要求5所述的背光模组精密光导薄膜模仁制造方法，其特征在于：所述导光网点选自圆形、方形、V型或U型的凹型沟槽；网点直径50～1000um，深度5～80um。
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