[发明专利]强激光冲击微塑性成形的方法及其装置

权利要求书

1.强激光冲击微塑性成形的方法，其特征是先将实验所用的靶材双面电解抛光，在压板上压附微米尺度厚的一块透明光学介质作为约束层，金属飞片紧压在光学介质上，通过压板将光学介质，金属飞片，靶材和模板固紧在专用靶材装夹器上，再开启纳秒脉冲激光器，调节好光路，使由纳秒脉冲激光器输出的激光经透镜聚焦到靶材表面，然后对纳秒脉冲激光进行单次发射操作，从而实现靶材的单脉冲激光冲击，其中激光的工作状态参数为波长532nm或1064nm输出单脉冲，飞片的材料与厚度为Al片10～20μm厚度，飞片与靶材的间隙距离为10～150μm，靶材的物理参数包括金属靶材的性能、有机聚合物薄膜，以及模版的结构参数指尺寸范围为微米、亚微米、纳米尺度。

2.根据权利要求1所述的实现强激光冲击微塑性成形的方法的装置，其特征是由激光加载系统和靶材装夹系统连接组成，激光加载系统由纳秒脉冲激光器和聚焦透镜组成，由纳秒脉冲激光器发出的激光光束经过透镜聚焦后直接进入靶材装夹系统，靶材装夹系统由压板、光学介质、飞片、靶材、模板、靶材装夹器组成，压板带有螺旋机构，旋入靶材装夹器的凹腔。光学介质和飞片通过压板压力紧压。

3.根据权利要求1所述的实现强激光冲击微塑性成形的方法的装置，其特征使用真空润滑油脂对光学介质和吸收层的间隙进行密封。