[发明专利]光学读出热型红外图像传感器中加强型红外吸收板及其制备方法无效
| 申请号： | 200810020557.6 | 申请日： | 2008-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN101226081A | 公开（公告）日： | 2008-07-23 |
| 发明（设计）人： | 张青川;史海涛;陈大鹏;焦斌斌;伍小平 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230026*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 读出 红外 图像传感器 加强型 吸收 及其 制备 方法 | ||
1.光学读出热型红外图像传感器中加强型红外吸收板，其结构形式是以非金属红外吸收膜(7)为下层、以金属镀层(8)为上层，形成单层膜结构；其结构特征是在所述红外吸收膜(7)的底部，设置抗弯曲加强筋，所述抗弯曲加强筋与所述非金属红外吸收膜(7)为同种材质或不同种材质。
2.根据权利要求1所述的光学读出热型红外图像传感器中加强型红外吸收板，其特征是所述抗弯曲加强筋的选用材质为SiNx或SiO2。
3.根据权利要求1所述的光学读出热型红外图像传感器中加强型红外吸收板，其特征是所述抗弯曲加强筋的厚度为红外吸收膜(7)的厚度的1-3倍。
4.一种光学读出热型红外图像传感器中加强型红外吸收板的制备方法，其特征是按如下步骤操作：
a、按所设定的红外吸收膜(7)上抗弯曲加强筋的结构，在基片(9)上刻蚀出加强筋生长槽(10)；
b、在基片(9)的加强筋生长槽(10)中，生长成加强筋(11)；
c、在生长有加强筋(11)的基片(9)的表面生长成红外吸收膜层(12)；
d、在红外吸收膜层(12)上，按微梁单元的结构形式位于中央形成红外吸收膜(7)、位于两旁分别形成基本梁(13)；
e、在所述红外吸收膜(7)的表面形成金属镀层(8)；
f、在一一间隔的基本梁(13)上形成金属表层(14)；
g、去除基片(9)，得到带有加强筋(11)的红外吸收板(4)，以及位于红外吸收板(4)两侧的折转式分布的热隔离梁(1)和热变形梁(2)。
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