[发明专利]大屏幕薄膜晶体管模组减薄液及其生产方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种化工产品的生产工艺，特别是用于加工玻璃的减薄液的生产技术领域。

背景技术

当前大屏幕薄膜晶体管(TFT)模组加工企业生产中所使用的减薄液主要以大颗粒稀土氧化物粉做减薄摩擦剂，总体减薄速率低，分散稳定性差，容易导致严重的表面划伤，还存在平化减薄效率低等缺陷。长时间减薄往往大大降低减薄效率，造成减薄机的迅速磨损，生产效率低，以及大量的耗材消费。

发明内容

本发明目的在于发明一种分散稳定性好、平化减薄效率高、不损伤减薄机的大屏幕薄膜晶体管(TFT)模组减薄液。

本发明的有效成份为稀土氧化物、分子量小于500的非离子性水溶性有机聚合物、分子量小于200的多聚硅酸盐和有机酸，减薄液的pH值为5～8。

本发明产品悬浮性强，不宜沉积，分散稳定性好，在对大屏幕薄膜晶体管(TFT)模组加工时，减薄效果稳定，表面缺陷低，减薄无划痕，可有效提高平化减薄效率，减薄效率可达699纳米/分钟，且不易造成对减薄机的损伤。

本发明的第二个目的还在于为上述大屏幕薄膜晶体管(TFT)模组减薄液提供一种可行的生产方法。

包括以下步骤：

1)将稀土氧化物颗粒分散在水中，制成稀土氧化物悬浮液；

2)将多聚硅酸盐加入悬浮液中，制成稀土氧化物、多聚硅酸盐的混合悬浮液；

3)调整稀土氧化物、多聚硅酸盐的混合悬浮液的pH为5～8；

4)将稀土氧化物、多聚硅酸盐的混合悬浮液升温至20～90℃，保温0.1～6小时后降温至10～25℃，加入非离子性水溶性有机聚合物以及有机酸，再调节稀土氧化物、多聚硅酸盐的混合悬浮液的pH值至5～8；其中，稀土氧化物与加入的非离子性水溶性有机聚合物的质量比为1∶0.002～0.2，稀土氧化物与加入的有机酸的质量比为1∶0.002～0.2。

本发明工艺简单、易于操作，方便生产，生产效率高，产品质量稳定。

本发明中，稀土氧化物占减薄液总重量的0.001％～50％，非离子性水溶性有机聚合物占减薄液的总重量的0.001％～50％多聚硅酸盐占减薄液的总重量的0.01％～50％，有机酸占减薄液的总重量的0.001％～20％。

步骤1)中稀土氧化物与水的质量比为1∶3～30。

步骤2)中稀土氧化物与多聚硅酸盐的质量比为1∶0.1～20。

另，上述生产方法中，步骤4)后，可再向稀土氧化物、多聚硅酸盐的混合悬浮液加入添加剂，所述添加剂为有机磷酸盐或有机胺或醇胺或聚环乙氧烷或聚丙烯酸或聚氨酯或无机可溶性硅铝酸盐，加入述添加剂的目的是改进减薄液的流变性，能制成悬浮性更高的减薄液。

稀土氧化物与所述添加剂的质量比为1∶0.001～0.1。

具体实施方式

实施例一：

1、制备方法：

称取750克稀土氧化物，加入4517克水中，室温下搅拌均匀，制成稀土氧化物悬浮液。向稀土氧化物悬浮液加入500克摩尔比2.1的多聚硅酸盐(如水玻璃Na₂O.nSiO₂或K₂O.nSiO₂)，搅匀，制成稀土氧化物、多聚硅酸盐混合悬浮液。采用磷酸调节pH值至8。

将稀土氧化物、多聚硅酸盐混合悬浮液温度升至20～90℃，保温0.1～6小时后降温至10～25℃，再采用磷酸将pH调到8。

为了制成悬浮性能更高的减薄液，还可再向pH＝8的稀土氧化物、多聚硅酸盐混合悬浮液加入200克，400克，500克的非离子性水溶性有机聚合物，如有机磷酸酯或有机胺或醇胺或聚环乙氧烷或聚丙烯酸或聚氨酯。再加入草酸或其他的有机酸100克，并把pH值调到7。

2、应用实例：

将所制样品在Logitech CDP单面减薄机上减薄。下压：1psi，下盘以及载盘转速50RPM，减薄液流速：100ml/分钟。该系列减薄液减薄速率分别为450，720，655，纳米/分钟，玻璃表面无划痕，减薄机无损伤。

实施例二：

1、制备方法：

称取350克稀土氧化物，加入3984克水中，室温下搅拌均匀，制成稀土氧化物悬浮液。向稀土氧化物悬浮液加入666克摩尔比2.1的硅酸钾，进一步搅匀，制成稀土氧化物、硅酸钾混合悬浮液。再用盐酸调整pH为8～12。