[发明专利]质谱和离子迁移谱装置的多波长真空紫外光电离源

权利要求书

1、质谱和离子迁移谱装置的多波长真空紫外光电离源，其特征在于：具有一腔体，腔体上有进气口和出气口，出气口连接到气泵；腔体内有正、负放电电极，正、负放电电极与高压直流或射频电源相连接；腔体的一面为真空紫外光输出端口，当腔体内充入气体Ar、Kr和Xe时，真空紫外光输出端口选用氟化锂晶体；当腔体内充入气体Kr和Xe时，真空紫外光输出端口也可选用氟化镁晶体；当腔体充入气体为He和Ne时，真空紫外光输出端口选用毛细管；真空紫外光输出端口连接到光电离质谱或离子迁移谱装置的电离源入射接口。

2、根据权利要求书1所述的质谱和离子迁移谱装置的多波长真空紫外光电离源，其特征在于：所述的正、负放电电极采用金属棒、筒、片或网形状，采用钽、钼、钨或不锈钢等耐烧蚀金属材料制成；正、负放电电极距离在100um-5cm可调。

3、根据权利要求书1所述的质谱和离子迁移谱装置的多波长真空紫外光电离源，其特征在于：所述的光电离质谱是指四极质谱、飞行时间质谱或离子阱质谱。

4、根据权利要求书1所述的质谱和离子迁移谱装置的多波长真空紫外光电离源，其特征在于：所述的进气口安装有多通电阀门，分别接Ar、Kr、Xe、He和Ne等多个气瓶，电磁阀根据控制系统指令选通。

5、根据权利要求书1所述的质谱和离子迁移谱装置的多波长真空紫外光电离源，其特征在于：充入气体时，腔体内气体压强低于10Torr或气体压强高于100Torr，处于两种工作状态。

6、根据权利要求书1所述的质谱和离子迁移谱装置的多波长真空紫外光电离源，其特征在于：通过调节腔体的压强或更换填充稀有气体种类可以获得多种波长的真空紫外光。