[发明专利]通过气相传输法制备InN纳米线和纳米棒的方法有效
| 申请号： | 200810023437.1 | 申请日： | 2008-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN101289172A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 谢自力;张荣;聂超;刘启家;刘斌;李弋;修向前;韩平;赵红;江若琏;施毅;朱顺明;胡立群;郑有炓 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C01B21/06 | 分类号： | C01B21/06;C01G15/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 | 代理人： | 黄明哲 |
| 地址： | 210093*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通过 相传 法制 inn 纳米 方法 | ||
【权利要求书】：
1.通过气相传输法制备InN纳米线和纳米棒的方法，其特征是以GaAs或Si或蓝宝石做为衬底，将所使用的衬底材料切片，使其自然解理，自然解理面为(110)面或(111)面，通过气相传输法在衬底的自然解理面上生成InN纳米线和纳米棒：
使用管式电子加热炉，通入保护气体氮气和反应气体氨气，并将管式电子加热炉加热到500℃-1100℃，其中管式电子加热炉的中心温度加热到700℃-1000℃，沿管式电子加热炉内的气体流动方向，管式电子加热炉后端为500℃-900℃的低温区域；金属铟放置在石英舟内，石英舟放置在管式电子加热炉中心，在石英舟后面设有石墨基底，衬底放置在石墨基底上，并设置在管式电子加热炉500℃-900℃的温区范围内；900℃时金属铟开始汽化，同时氨气开始分解，铟蒸汽和分解了的氨气发生反应，同时随着气流向管式电子加热炉后端输运，到达衬底位置时，在衬底的自然解理面上沉积成核，生长出InN纳米线和纳米棒；
反应在常压下进行，通入的保护气体氮气和反应气体氨气的流速从0L/min逐渐升至10L/min后保持，使用的金属铟纯度99.99％，氨气纯度99.999％，氮气纯度99.9995％。
2.根据权利要求1所述的通过气相传输法制备InN纳米线和纳米棒的方法，其特征是衬底设置在管式电子加热炉的550℃温区。
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