[发明专利]一种石英金卤灯用石英玻璃管及其制备方法

权利要求书

1、一种石英金卤灯用石英玻璃管，其特征在于，在石英玻璃管的内壁上镀设有镀膜。

2、根据权利要求1所述的一种石英金卤灯用石英玻璃管，其特征在于，所述的镀膜为氧化铝膜。

3、一种如权利要求1或2所述的石英金卤灯用石英玻璃管的制备方法，其特征在于，其步骤如下：

(1)溶胶制备：以氧化铝、正硅酸乙酯和丙烯酸为原料，以丁醇铝为先驱物，以水为溶剂，以HNO₃为胶溶剂制成氧化铝溶胶；其中：原料氧化铝、正硅酸乙酯和丙烯酸的重量比为1∶(1-3)∶(0.5-1.5)，丁醇铝、水和HNO₃的重量比为1∶(3-5)∶(2-4)；

(2)镀膜液制备：以正硅酸乙酯、去离子水和无水乙醇按照物质的量的比1∶(1-3)∶(30-50)混合搅拌，混合物在常温下静置老化4-8天；取氧化铝溶胶在115℃-125℃下回流5-15小时，除去氧化铝溶胶中的催化剂氨气；然后将混合物与氧化铝溶胶混合制得镀膜液；

(3)镀膜：选取羟基含量低于2ppm的石英玻璃管，清洗并烘干后，采用真空镀膜机将镀膜液镀于石英玻璃管内壁上，然后将镀膜石英玻璃管取出，置于浓度为5-15％的三甲基氯硅溶液中浸泡，取出后再将其置于无水乙醇中浸泡，取出后干燥，即得成品。

4、根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述的原料氧化铝、正硅酸乙酯和丙烯酸的重量比为1∶2∶1；丁醇铝、水和HNO₃的重量比为1∶4∶3。

5、根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，在步骤(2)中，正硅酸乙酯、去离子水和无水乙醇物质的量的比1∶2∶40。

6、根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，在步骤(3)中，镀膜前石英玻璃管清洗和烘干方法为：先后用碱液、酸液、蒸馏水和阴阳离子水清洗，再用无水乙醇漂洗后，然后红外线加热烘干1-3小时，烘干混度为140℃-160℃。

7、根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，在步骤(3)中，所述的三甲基氯硅溶液的浓度为10％，溶剂为正己烷。

8、根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，在步骤(3)中，将镀膜液镀于石英玻璃管内壁上的方法如下：将石英玻璃管和镀膜液放入真空镀膜机内，开机械泵和分子泵抽气，当真空度优于1×10^-3Pa后停分子泵，以石英玻璃管为支撑体，采用蒸镀方法，将真空镀膜机的蒸镀丝的放电电压调至1300V-1700V，冲入氩气，使蒸镀丝在石英玻璃管内稳定放电，镀膜反应4-5小时，完成镀膜。

9、根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，在步骤(3)中，镀膜石英玻璃管在三甲基氯硅溶液中浸泡的时间为10-20小时；在无水乙醇中浸泡30-50分钟；其干燥方法是，从无水乙醇中取出，待自然干燥后，再采用红外烘干1-3小时，烘干温度为95℃-105℃。