[发明专利]高温金属有机化学气相淀积反应器有效
| 申请号： | 200810025396.X | 申请日： | 2008-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101265570A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 王怀兵;杨辉;徐科;张宝顺;梁骏吾 | 申请（专利权）人： | 苏州纳晶光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/18 | 分类号： | C23C16/18 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高温 金属 有机化学 气相淀积 反应器 | ||
1. 一种高温金属有机化学气相淀积反应器，包括壳体、反应室、送样室、真空装置、尾气处理装置以及操作控制装置，所述反应室位于被抽真空的壳体内，用于淀积反应的衬底及为衬底加热的加热组件置于反应室内，其特征在于：所述反应室为上底面小于下底面的锥桶形结构，包括多边形锥台式衬底托(3)及套于衬底托(3)外侧的内罩(4)，所述内罩内壁的倾角比衬底托(3)外表面的倾角大3°～5°，两者间构成反应气体通道，反应气体自下经气体通道由反应室顶部的出气口(9)排出；沿衬底托(3)的外缘斜面布置有复数个衬底铺设位(1)，所述内罩(4)上设有与监测点配合的光学窗口(2)，供操作控制装置实时监控。
2. 根据权利要求1所述的高温金属有机化学气相淀积反应器，其特征在于：所述衬底托(3)为6～10边形的锥台式石墨托，其表面的倾角为3°～5°，沿每一倾斜面的延伸方向上，布有4～6层下凹式衬底铺设位(1)。
3. 根据权利要求1所述的高温金属有机化学气相淀积反应器，其特征在于：所述内罩(4)外套有遮盖所述光学窗口(2)的外罩(5)，该外罩(5)的倾角大于内罩(4)倾角，形成供防止光学窗口(2)堵塞的光学窗口保护气体(12)穿过的气流通道。
4. 根据权利要求1或2所述的高温金属有机化学气相淀积反应器，其特征在于：所述加热组件位于所述衬底托(3)内，由复数个加热电阻丝(8)构成，分别控制加热温度。
5. 根据权利要求1所述的高温金属有机化学气相淀积反应器，其特征在于：所述衬底选自单晶Si、GaAs、SiC、GaN或蓝宝石中的一种。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
