[发明专利]集成压电可动微透镜增强型锥形亚波长近场光探针阵列无效
| 申请号： | 200810025447.9 | 申请日： | 2008-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101276620A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 李海军;王敏锐;张晓东;张宝顺 | 申请（专利权）人： | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G11B9/12 | 分类号： | G11B9/12;G01N13/14;G12B21/06 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈忠辉 |
| 地址： | 215125江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 集成 压电 可动微 透镜 增强 锥形 波长 近场 探针 阵列 | ||
【权利要求书】：
1.集成压电可动微透镜增强型锥形亚波长近场光探针阵列，其特征在于：该阵列由集成压电可动微透镜和带金属沟槽结构的锥形亚波长通光孔阵列组成，在减薄的SOI衬底上制作有锥形孔，锥形孔内表面及周围都镀有金属膜层，在锥形孔周围形成有纳米金属沟槽结构，所述锥形孔上集成压电可动微透镜，锥形孔从入射表面向出射表面呈线性逐渐减小，即在SOI衬底上形成锥形亚波长通光孔，且锥形亚波长通光孔孔径的锥形角在0～90°。
2.根据权利要求1所述的集成压电可动微透镜增强型锥形亚波长近场光探针阵列，其特征在于：所述锥形亚波长通光孔的上底面直径在100～800nm，下底面直径在30～300nm，倾斜角度在0～90°之间。
3.根据权利要求1所述的集成压电可动微透镜增强型锥形亚波长近场光探针阵列，其特征在于：所述锥形亚波长通光孔内及周围所镀的金属膜层，其厚度在10～300nm之间，金属膜层的材质是金、铝、银或铬中的一种。
4.根据权利要求1所述的集成压电可动微透镜增强型锥形亚波长近场光探针阵列，其特征在于：所述纳米金属沟槽结构的周期为10～200nm，数目为5～20个。
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