[发明专利]近场光学增强型纳米阵列通光孔激光器无效

专利信息
申请号: 200810025450.0 申请日: 2008-04-30
公开(公告)号: CN101282022A 公开(公告)日: 2008-10-08
发明(设计)人: 李海军;王敏锐;张晓东;张宝顺 申请(专利权)人: 苏州纳米技术与纳米仿生研究所
主分类号: H01S5/00 分类号: H01S5/00;H01S5/028;B82B1/00
代理公司: 南京苏科专利代理有限责任公司 代理人: 陈忠辉
地址: 215125江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 近场 光学 增强 纳米 阵列 通光孔 激光器
【权利要求书】:

1.近场光学增强型纳米阵列通光孔激光器,其特征在于:在半导体激光器的出光端面镀有金属薄膜层,在金属薄膜层上制作有纳米孔阵列,纳米孔阵列的周围具有光栅结构。

2.根据权利要求1所述的近场光学增强型纳米阵列通光孔激光器,其特征在于:所述金属薄膜层的材质为金、或银、或铝、或铬,金属薄膜层的厚度在20~300nm。

3.根据权利要求1所述的近场光学增强型纳米阵列通光孔激光器,其特征在于:所述纳米孔阵列的形状为方形、或圆形、或椭圆形、或半圆形、或双C形、或双三角形,其数量为2~10个。

4.根据权利要求3所述的近场光学增强型纳米阵列通光孔激光器,其特征在于:所述的纳米孔阵列排列成三角形、或圆形、或多边形、或环形。

5.根据权利要求1所述的近场光学增强型纳米阵列通光孔激光器,其特征在于:所述光栅结构的光栅周期为10~200nm,光栅围绕纳米孔排列成圆形、或半圆形、或多边形、或C形。

6.根据权利要求1所述的近场光学增强型纳米阵列通光孔激光器,其特征在于:所述的半导体激光器为边发射半导体激光器或面发射半导体激光器。

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