[发明专利]玻璃衬底上彩色二氧化钒热色玻璃的制备方法有效
| 申请号： | 200810027226.5 | 申请日： | 2008-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101255015A | 公开（公告）日： | 2008-09-03 |
| 发明（设计）人： | 徐刚;黄春明;侯乃升;陈丽华;黄华凛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院广州能源研究所 |
| 主分类号： | C03C17/23 | 分类号： | C03C17/23;C03C4/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 莫瑶江 |
| 地址： | 510640广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 衬底 彩色 氧化 钒热色 制备 方法 | ||
1.一种玻璃衬底上彩色二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于依次包括如下步骤：(a)用洗液或溶剂将玻璃衬底清洗干净并吹干；(b)将玻璃衬底放入薄膜沉积室，加热至300～600℃；(c)通入工作气体；(d)采用磁控溅射制备工艺使二氧化钒成膜；(e)控制二氧化钒成膜厚度以得到不同反射颜色的二氧化钒镀膜玻璃。
2.根据权利要求1所述的玻璃衬底上彩色二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：步骤(d)中二氧化钒薄膜的制备采用金属钒或二氧化钒为阴极溅射材料，溅射方式为射频溅射，溅射室在通入Ar气的同时，也通入高纯度的O2气，O2气与Ar气分压比或流速比为0.03～0.3∶1。
3.根据权利要求1所述的玻璃衬底上彩色二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：步骤(d)中二氧化钒薄膜的制备采用五氧化二钒陶瓷靶为阴极溅射材料，溅射电源为直流溅射，溅射工作气体为Ar气与H2气的混合气体，H2气与Ar混合体的百分比H2/(Ar+H2)＝2％～8％。
4.根据权利要求1所述的玻璃衬底上彩色二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：步骤(e)中先利用石英晶振仪记录薄膜沉积的时间与相对厚度，沉积完毕后，再利用椭偏仪对二氧化钒薄膜的几何厚度进行精确测定。根据沉积时间，计算出薄膜的沉积速度。在此基础上，设定薄膜的沉积时间，使薄膜达到需要的厚度。
5.根据权利要求1至4之任一所述的玻璃衬底上彩色二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：控制二氧化钒薄膜沉积的厚度在10～25纳米以得到反射颜色为浅蓝色的镀膜玻璃。
6.根据权利要求1至4之任一所述的玻璃衬底上彩色二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：控制二氧化钒薄膜沉积的厚度在25～40纳米以得到反射颜色为淡青色的镀膜玻璃。
7.根据权利要求1至4之任一所述的玻璃衬底上彩色二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：控制二氧化钒薄膜沉积的厚度在40～70纳米或在120～180纳米以得到反射颜色为黄色的镀膜玻璃。
8.根据权利要求1至4之任一所述的玻璃衬底上彩色二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：控制二氧化钒薄膜沉积的厚度在70～80纳米以得到反射颜色为粉红色的镀膜玻璃。
9.根据权利要求1至4之任一所述的玻璃衬底上彩色二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：控制二氧化钒薄膜沉积的厚度在80～120纳米以得到反射颜色为蓝紫色的镀膜玻璃。
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