[发明专利]一种复合光路宽光谱膜厚监控系统

权利要求书

1、一种复合光路宽光谱膜厚监控系统，包括光发射装置、光路、光接收装置、控制电路、计算机和监控软件，其特征是在光路系统中设置复合光路(21)，复合光路置于发射装置(1)和接收装置(3)之间，并通过光纤与接收装置相连接。

2、如权利要求1所述的复合光路宽光谱膜厚监控系统，其特征是复合光路(21)包括发射光路(211)和接收光路(216)，在发射光路和接收光路之间设置监控比较片(212)、分光镜(213)、光源修正滤光片(214)和连接件(215)，分光镜和滤光片固定在连接件上。

3、如权利要求1所述的复合光路宽光谱膜厚监控系统，其特征是光发射装置(1)包括光源(11)、调制器(12)和驱动电路(13)，调制器置于发射光路中。

4、如权利要求1所述的复合光路宽光谱膜厚监控系统，其特征是光接收装置(3)包括光谱仪(31)和光学膜厚控制仪(32)，光谱仪和光学膜厚控制仪均通过光纤与复合光路(21)相连接。

5、如权利要求4所述的复光路宽光谱膜厚监控系统，其特征是所述的光谱仪(31)，通过USB接口或RS232接口与计算机相连接。

6、如权利要求5所述的复光路宽光谱膜厚监控系统，其特征是所述的光谱仪(31)为线性硅CCD阵列探测器的光谱仪。

7、如权利要求1或2所述的复合光路宽光谱膜厚监控系统，其特征是所述的复合光路(21)，包括采用垂直光路线或倾斜光路，在由发射光路(211)和接收光路(216)组成的光学膜厚监控光路中，通过增加中间通光孔式的分光镜(213)，将监测光信号一分为二，其中一路监测光信号经过反射后，耦合到光纤中，再会聚进入光学膜厚控制仪(32)中，另一路监测光信号透射中间的通光孔，经过光源修正滤光片后，耦合到光纤中，再会聚进入光谱仪(31)中，由系统监控软件进行信号采集和处理，进行宽光谱膜厚监控。

8、如权利要求7所述的复合光路宽光谱膜厚监控系统，其特征是所述的分光镜(213)为中间开一通光孔的反射镜，设置在复合光路光轴上45°倾斜位置，分别反射和透射监测光信号。

9、如权利要求1所述的复合光路宽光谱膜厚监控系统，其特征是控制电路(4)通过信号线和电缆线，分别与计算机和镀膜设备相连。