[发明专利]一种用于LED的硅基氮化镓外延层转移方法

权利要求书

1.一种用于LED的硅基氮化镓外延层转移方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤1：将有氮化镓膜层的硅基与金属箔用粘合剂粘合或在其上溅射纳米粒子防护层；

步骤2：在金属箔或纳米粒子防护层的表面镀上防护性金属镀层；

步骤3：在防护性金属镀层表面涂敷耐腐蚀物质；

步骤4：浸入硅基的腐蚀溶液，至硅基片完全溶解。

2.如权利要求1所述的转移方法，其特征在于步骤1中所述粘合剂是环氧类树脂、酚醛树脂、糠醛树脂、有机硅树脂或经导电化处理的改性树脂。

3.如权利要求1所述的转移方法，其特征在于步骤1中所述纳米粒子防护层是碳化钨、二硫化钼或碳层。

4.如权利要求1所述的转移方法，其特征在于所述金属箔是金箔、银箔、黄铜箔、铜箔、镍箔、铝箔或不锈钢箔。

5.如权利要求1所述的转移方法，其特征在于所述防护性金属镀层是金属镀层或金属合金镀层。

6.如权利要求5所述的转移方法，其特征在于所述金属镀层为镍、铜、钴、银或铬中的一种或几种的合金镀层。

7.如权利要求5所述的转移方法，其特征在于所述金属合金镀层为镍、铜、钴、银或铬中的一种或几种与磷或硫的合金镀层。

8.如权利要求1所述的转移方法，其特征在于所述防护性金属镀层是掺杂有功能性粒子的金属镀层或金属合金镀层。

9.如权利要求8所述的转移方法，其特征在于所述功能性粒子为聚四氟乙烯、二硫化钼、石墨、金刚石或碳化硅。

10.如权利要求1所述的转移方法，其特征在于步骤3中所述的耐腐蚀物质是石蜡、凡士林、环氧树脂、聚丙烯树脂或乙烯醋酸-乙烯酯。