[发明专利]精密气体过滤器及其制作方法

权利要求书

1.一种精密气体过滤器，其特征在于：所述过滤器包括气室、转接头、 过滤板和密封板；

所述气室包括气室主体和底座，所述气室主体为圆柱形，气室顶端呈圆 弧状，气室顶端中心开有圆孔，圆孔内设有螺纹；所述底座为中心开有圆孔 的方形板，圆孔的直径与气室主体的直径相同，所述底座设有凹槽，所述凹 槽内设有橡胶垫；

所述气室内装有用于净化气体的物质；

所述过滤板呈圆形，蜂窝状，其中一面设有过滤网，所述过滤板设置在 气室内部；

所述密封板与底座匹配连接的部分呈方形，密封板与底座匹配连接的部 分中心开有圆孔，圆孔内设有螺纹，所述密封板圆孔的圆心与底座圆孔的圆 心、气室顶端圆孔的圆心处于同一轴线上；

所述转接头分别通过气室顶端和密封板的圆孔旋接在气室上。

2.如权利要求1所述的精密气体过滤器，其特征在于：所述底座设有圆 形凹槽，凹槽的圆心与底座圆孔的圆心一致。

3.如权利要求1或2所述的精密气体过滤器，其特征在于：所述底座和 /或密封板为正方形，底座和密封板相匹配，底座和密封板的四个角均开孔， 孔内设有螺纹。

4.如权利要求1或2所述的精密气体过滤器，其特征在于：所述底座和 /或密封板为长方形，底座和密封板相匹配，底座和密封板的四个角均开孔， 孔内设有螺纹。

5.如权利要求1或2所述的精密气体过滤器，其特征在于：所述密封板 为L形，其中与底座相匹配的一面，四个角均开孔，孔内设有螺纹，另外与 底座垂直的面设有两个孔，孔内设有螺纹，用于所述精密气体过滤器的固定。

6.如权利要求1所述的精密气体过滤器，其特征在于：所述气室采用不 锈钢材料制成。

7.如权利要求1所述的精密气体过滤器，其特征在于：所述过滤网和/ 或过滤板采用不锈钢材料制成。

8.一种制作如权利要求1所述的精密气体过滤器的方法，其特征在于： 所述方法包括下述步骤：

(1)将转接头分别紧密安装在过滤器的气室顶端和密封板上；

(2)用密封胶将过滤网粘于过滤板的一面，将一块过滤板置于气室内部， 其中将粘有过滤网的一面面对精密气体过滤器底座，将过滤板置于气室最顶 端；

(3)将用于净化气体的物质装入气室内，将另一块过滤板置于所述用于 净化气体的物质上，将过滤板粘有过滤网的一面面对底座；

(4)将橡胶垫置于底座的凹槽内；

(5)将密封板固定在气室底座上；

(6)对精密气体过滤器进行打压试验，利用肥皂水进行点漏，如有漏气 现象，利用密封胶将漏气部位进行密封。