[发明专利]一种大相对口径非球面镜相位恢复的检测装置与方法有效
申请号: | 200810030810.6 | 申请日: | 2008-03-14 |
公开(公告)号: | CN101290263A | 公开(公告)日: | 2008-10-22 |
发明(设计)人: | 李圣怡;戴一帆;吴宇列;胡晓军;郑子文;王贵林;彭小强 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01M11/00 |
代理公司: | 长沙恒熙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄洪;周跃仁 |
地址: | 410037湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 相对 口径 球面镜 相位 恢复 检测 装置 方法 | ||
1.一种大相对口径非球面镜相位恢复的镜面面形误差检测方法,包括开始步骤检测准备(101)和结束步骤输出检测结果(116),其特征在于:所述检测准备(101)和输出检测结果(116)步骤之间,首先进行循环参数设置(104),然后获取现场数码照片(102)或者历史数码照片(103),进行设定等效计算波长和设定图像有效计算区域(105),初始化面形误差数据(106),从步骤m值判断(107)开始进行m次循环的GS迭代算法处理,最后输出检测结果(116)。
2.根据权利要求1所述的大相对口径非球面镜相位恢复的镜面面形误差检测方法,其特征在于:所述m次GS迭代算法的循环步骤:等效波长衍射到离焦平面(108)后同时进行的步骤是,保留相位(109),在有效计算区域内用图像数据作为强度数据(110)和在有效计算区域外用保留强度数据(111),然后进入步骤合成新的离焦光场(112),等效波长衍射到镜平面(113),保留相位和施加镜面幅值约束(114),m值加一(115)进入m值判断(107),如果判断结果为否,从等效波长衍射到离焦平面(108)起进入下一个循环,如果判断结果为是,进入步骤输出检测结果(116)出具检测报告。
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