[发明专利]大型光学镜面子孔径拼接工作站

权利要求书

1.一种大型光学镜面的子孔径拼接工作站，其特征在于：包括防震底座，防震底座上安装有干涉仪五维运动调整平台和位于干涉仪五维运动调整平台前方的被测镜两维倾斜调整平台，干涉仪五维运动调整平台上装设有光学干涉仪，光学干涉仪连接有内装测量数据处理算法程序的主控计算机，干涉仪五维运动调整平台与数控系统连接。

2.根据权利要求1所述的大型光学镜面的子孔径拼接工作站，其特征在于：所述的干涉仪五维运动调整平台由三个直线运动轴即沿防震底座运动的X轴、在过X轴的水平面上与X轴垂直的Y轴、在过X轴的垂直面上与X轴垂直的Z轴和两个转动轴即绕Y轴旋转的B轴和绕Z轴旋转的C轴组成。

3.根据权利要求2所述的大型光学镜面子孔径拼接工作站，其特征在于：所述的直线运动轴X轴安装在防震底座上；直线运动轴Y轴安装在横板上，横板通过滑块与X轴相连，运动方向与X轴互相垂直；Z轴安装在可垂直升降的支柱上，支柱通过滑块与Y轴相连，运动方向垂直于X轴和Y轴；C轴通过支撑台与Z轴相连，实现绕Z轴转动；B轴通过转接板与转轴C相连，实现绕Y轴转动。

4.根据权利要求3所述的大型光学镜面子孔径拼接工作站，其特征在于：所述X轴、Y轴和Z轴均由交流伺服电机、电机座、弹性联轴器、精密滚珠丝杠、丝杠支撑单元、直线导轨组成。

5.根据权利要求3所述的大型光学镜面子孔径拼接工作站，其特征在于：所述C轴由交流伺服电机、电机座、弹性联轴器和转台组成。

6.根据权利要求3所述的大型光学镜面子孔径拼接工作站，其特征在于：所述B轴由交流伺服电机、电机座、弹性联轴器转台及固定转接板组成。

7.根据权利要求1所述的大型光学镜面子孔径拼接工作站，其特征在于：所述被测镜两维倾斜调整平台包括被测镜安装平台和装设于其上的YZ平面内的两维倾斜调整机构，被测镜安装平台由支座、悬挂钢带以及吊环螺钉组成，悬挂钢带通过吊环螺钉固定在支座上；两维倾斜调整机构包括呈直角三角形分布的三个调整螺纹副。