[发明专利]离子束抛光加工结果的预测预报方法

权利要求书

1、一种离子束抛光加工结果的预测预报方法，包括以下步骤：

(1)确定抛光工艺的去除函数：用待预测的抛光工艺过程进行去除函数试验获取去除函数，经试验获取的去除函数记为p(x，y)；

(2)确定抛光工艺过程等效的滤波器单位脉冲响应函数：将上述去除函数p(x，y)归一化即为等效的滤波器单位脉冲响应函数h(x，y)，所述h(x,y)=1Bp(x,y),]]>其中B是去除函数p(x，y)的二重积分，B=∫-∞∞∫-∞∞p(x,y)dxdy;]]>

(3)检测面形误差分布：利用面形检测装置对待加工光学镜面进行误差检测，检测得到的面形误差记为s(x，y)；

(4)预测加工后的面形残差：根据面形误差s(x，y)和滤波器单位脉冲响应函数h(x，y)计算加工后的面形残差e(x，y)，计算公式为e(x,y)=s(x,y)-h(x,y)⊗s(x,y),]]>根据计算所得的面形残差e(x，y)进而实现对离子束抛光加工结果的预测预报。

2、根据权利要求1所述的离子束抛光加工结果的预测预报方法，其特征在于所述去除函数p(x，y)、等效滤波器函数h(x，y)、面形误差s(x，y)和面形残差e(x，y)为连续函数或者离散函数。