[发明专利]一种用于非球面面形测量的组合式干涉装置

权利要求书

1.一种用于非球面面形测量的组合式干涉装置，有激光器(1)，其特征在于，沿激光器(1)产生激光的水平前进方向依序设置空间滤波器(2)、扩束系统(3)、分光镜(4)、转换透镜(5)、被测非球面镜(21)；所述激光再次经过分光镜(4)反射后形成第一垂直光路，在该垂直光路先后放置45°偏振片(6)和第一光学平板(7)，激光通过第一光学平板(7)后形成两条水平光路，在下面较小口径光路中沿激光前进方向依序设置垂直偏振片(8)、缩束系统(10)、第一光楔(12)、第二光楔(13)；在上面较大口径光路中沿激光前进方向先后放置水平偏振片(9)、扩束系统(11)、第三光楔(14)、第四光楔(15)，在第二光楔(13)和第四光楔(15)之后放置第二光学平板(16)；两路光通过第二光学平板(16)后形成第二垂直光路，在该第二垂直光路沿激光前进方向依序设置分束光栅(17)、1/4波片(18)、偏振片组(19)和CCD(20)。

2.根据权利要求1所述的非球面测量装置，其特征在于，所述的偏振片(6)、垂直偏振片(8)和水平偏振片(9)的偏振方向分别为45°、90°和180°。

3.根据权利要求1所述的非球面测量装置，其特征在于，所述第一光学平板(7)和第一光学平板(16)为大小相等的长方体，且材料相同，长边相互平行放在同一水平面上，而两平板中心在同一水平线上，长边均与水平线成45°角，两中心距离为平板厚度的4～6倍。

4.根据权利要求1所述的非球面测量装置，其特征在于，所述缩束系统(10)和扩束系统(11)均由一大一小两个对应相同的透镜组成，仅大小透镜的放置位置正好相反。

5.根据权利要求1所述的非球面测量装置，其特征在于，所述第一光楔(12)、第二光楔(13)，第三光楔(14)和第四光楔(15)为直径、厚度、大小和楔角完全相同的圆形光楔，第一光楔光楔(12)、第二光楔(13)同轴放置在较小口径光路中，无楔角面靠在一起并留有的缝隙，采用机械装置使它们同步反向的绕轴O₁-O₂转动；以同样方式把第三光楔(14)、第四光楔(15)放置在较大口径光路中，操作时同步反向绕轴O₃-O₄转动；第一光楔(12)与第二光楔(13)形成一个光楔对，第三光楔(14)与第四光楔(15)也形成一个光楔对，将该两个光楔对接到同一个高分辨率步进马达，两光楔对可同步或异步旋转。

6、根据权利要求1所述的非球面测量装置，其特征在于，所述分束光栅(17)是2×2的高效率衍射光栅，所述偏振片组(19)由一块透光玻璃板和三块偏振片粘在一起放置在同一平面上组成，且所述三块偏振片的偏振方向分别为45°，90°和135°。

7、根据权利要求1所述的非球面测量装置，其特征在于，垂直偏振片(8)和缩束系统(10)的位置互换，水平偏振片(9)和扩束系统(11)的位置互换。