[发明专利]空间滤波器光路准直的调整装置及调整方法无效
| 申请号： | 200810032437.8 | 申请日： | 2008-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN101216610A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 刘代中;丁莉;高妍琦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/46 | 分类号： | G02B27/46;G02B27/30;G02B7/182 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 空间 滤波器 光路准直 调整 装置 方法 | ||
1.一种空间滤波器光路准直的远场探测装置，特征在于其构成包括：
一紧贴空间滤波器小孔(4)后放置的透射光栅(5)；
发光二极管(9)和准直透镜(8)构成准直的非相干照明光源，照射所述的小孔(4)和透射光栅(5)；
由成像透镜(6)和远场探测器(7)置于所述的透射光栅(5)的衍射光束方向构成远场成像探测器，所述的远场探测器(7)的输出接一计算机。
2.利用权利要求1所述的远场探测装置实现空间滤波器光路准直的方法，其特征在于包括如下步骤：
①首先在空间滤波器(3)的小孔(4)的后面紧贴其小孔板放置所述的透射光栅(5)并覆盖所述的小孔(4)；
②打开主激光，激光束的焦斑穿过小孔(4)照射透射光栅(5)产生衍射，在该透射光栅(5)的一级衍射光方向设置远场成像探测器，使一级衍射光经成像透镜(6)在远场探测器(7)上成像，通过计算机的图像处理得到主激光的焦斑中心；
③然后启动非相干照明光源照明所述的小孔(4)，调整非相干照明光源的准直光束的入射角，使透射光栅(5)产生的一级或者二级衍射光使小孔轮廓通过成像透镜(6)成像在远场探测器(7)上，然后通过计算机的图像处理得到小孔中心；
④调整第一反射镜(1)和第二反射镜(2)，重复上述第②和第③步，当主激光的焦斑中心和空间滤波器的小孔中心重合，即完成空间滤波器光路准直的调整。
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