[发明专利]用于微波功率放大器芯片的在片测试方法及其测试系统

权利要求书

1.一种用于微波功率放大器芯片在片测试的方法，其特征在于用晶体管的开关特性，加载大电流的直流电平来调制脉冲信号发生器的发出的脉冲信号使之达到功率放大器的直流工作要求；脉冲信号发生器发出的脉冲信号作为晶体管的栅极控制信号，控制沟道开启和关闭的速度，以调制最后得到的大电流脉冲信号的占空比和频率。

2.按照权利1要求的微波功率放大器芯片在片测试的方法，其特征在于使用脉冲的直流电压作为待测件的直流偏置。

3.按照权利要求2所述的微波功率放大器芯片在片测试的方法，其特征在于所述的直流偏置的脉宽为1-10μs，脉冲重复周期为1ms。

4.按照权利1要求的微波功率放大器芯片在片测试的方法，其特征在于所述的脉冲调制产生的方法是采用大电流直流电压源发出的直流电压连接在晶体管的漏极；当沟道开启时，信号通过源级加载在待测件的两端作为直流偏置，从而使待测件达到工作点。

5.按照权利要求1所述的微波功率放大器芯片在片测试的方法，其特征在于占空比≤1％，输出功率与脉宽无直接关联。

6.按权利要求1-5中任一项所述的用于微波功率放大器芯片在片测试的系统，其特征在于所述的测试系统由操作控制和硬件两部分构成；硬件包括大电流脉冲的实现和加载在芯片上；脉冲信号发生器连接到晶体管的栅极，作为晶体管的栅极控制信号，直流偏置发出大电流，将直流电压连接在晶体管的漏极，通过源极将脉冲信号加载在待测件的两端；电流探测计和电压探测计与待测芯片相连接对芯片的直流工作点进行实时监控；功率计对芯片的工作状态作检测。

7.按权利要求6所述的用于微波功率放大器芯片在片测试的系统使用方法，其特征在于在控制程序初始中，先设置信号发生器的发生波形，在本装置中，选择脉冲波形，在控制界面里设置其脉冲波形参数；其后再配置直流偏置电压的输出及其参数；在偏置条件建立之后，用配置频谱仪及示波器作监控。