[发明专利]一种提高制冷系统可靠性及效率的温控装置

权利要求书

1.一种提高制冷系统可靠性及效率的温控装置，包含依次连接的温度采集模块，控制器，功率驱动模块和半导体制冷模块；其特征在于，

所述的温度采集模块由温度传感器和激励源组成；该温度传感器将检测到的控制对象的温度值传送至控制器；

所述的半导体制冷模块包含2个相同的、由若干制冷片机械连接构成的半导体制冷器；该半导体制冷器包含循环水通道和冷却水通道；

所述的控制器采用PLC控制器，其根据收到温度传感器检测到的控制对象的温度值与温度目标值作比较，并根据半导体制冷器当前的工作状态，输出相应的电流信号至功率驱动模块，用以决定制冷输出量的大小；

所述的功率驱动模块分别连接2个半导体制冷器，将控制器输出的电流信号转化为半导体制冷器所需的工作电流，为其供电，并通过该提供给半导体制冷器的工作电流实现对制冷量的控制调节。

2.如权利要求1所述的提高制冷系统可靠性及效率的温控装置，其特征在于，还包含一检测模块，其输入端分别连接2个半导体制冷器，输出端连接控制器。

3.如权利要求2所述的提高制冷系统可靠性及效率的温控装置，其特征在于，所述的检测模块由带有辅助触头的起动器和漏电检测继电器组成；该漏电检测继电器和起动器检测出2个半导体制冷器在工作中的过流或漏电异常故障情况，并将该异常故障信号传送至控制器，由控制器控制该发生异常故障的半导体制冷器停止工作。

4.如权利要求1所述的提高制冷系统可靠性及效率的温控装置，其特征在于，还包含一电磁阀装置，其和控制器连接，控制半导体制冷器的供水；当控制器检测到某一个半导体制冷器故障时，将关闭控制该通道的电磁阀装置以切断该回路的水流。

5.如权利要求1所述的提高制冷系统可靠性及效率的温控装置，其特征在于，所述的温度传感器为热敏电阻，或者热电偶，或者铂电阻。

6.如权利要求1所述的提高制冷系统可靠性及效率的温控装置，其特征在于，所述的激励源为恒压源，或者恒流源。

7.如权利要求1所述的提高制冷系统可靠性及效率的温控装置，其特征在于，所述的半导体制冷器的额定制冷功率为所述的温控装置的所需功率。

8.如权利要求1所述的提高制冷系统可靠性及效率的温控装置，其特征在于，所述的2个半导体制冷器的循环水通道并联连接，或者串联连接；用于对光刻机内部发热元件进行冷却的循环介质进行制冷冷却。

9.如权利要求1所述的提高制冷系统可靠性及效率的温控装置，其特征在于，所述的2个半导体制冷器的冷却水通道串联连接；用于对半导体制冷器内部热量进行制冷冷却。

10.如权利要求1所述的提高制冷系统可靠性及效率的温控装置，其特征在于，所述的功率驱动模块包含一角度继电器，其输出端分别连接2个带触头起动器，所述的2个的带触头起动器分别依次连接漏电流继电器、继电器和整流器；

所述的角度继电器将控制器输出的电流信号转化成电压信号输出，分别通过2整流器转化成直流电输出至2个半导体制冷器；控制器通过控制继电器实现功率驱动模块的通断。