[发明专利]一种测试算法文档加载方法

说明书

技术领域

本发明涉及测试技术领域，尤其涉及一种测试算法文档加载方法。

背景技术

在半导体制造领域，需对制成或未制成的半导体器件进行测试，现通常使用安捷伦(Agilent)公司的半导体参数测试仪(例如Agilent 4072A)来对半导体器件进行晶圆验收测试(wafer acceptance testing；简称WAT)和可靠性测试(Reliability test)等测试。该半导体参数测试仪中通常装载有半导体制程评测核心软件(Semiconductor Process Evaluation Core Software；简称SPECS)，该软件会提供一测试算法数据库且提供了向该数据库中添加测试算法的添加设定界面，用户在该添加设定界面上设定测试算法的各项参数(包括输入变量、输出变量和设备变量等)且在设定完成后保存，从而完成测试算法的添加。但随着半导体器件最小特征尺寸的不断减小，测试算法中的参数项数会大量增加，当测试算法中的输入变量、输出变量和设备变量的总数量增加到100项时，在完成测试算法的设定后，会发生无法把所设定的测试算法保存到测试算法数据库中的事情，从而致使测试算法的设定失败。另外，在添加设定界面上添加设定测试算法时，无法使用过多的备注，从而致使所设定的测试算法可读性较差。

因此，如何提供一种测试算法文档加载方法以避免测试算法失败的事情发生，进而提高半导体测试软件的可靠性及测试算法文档的可读性，已成为业界亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种测试算法文档加载方法，通过所述方法可避免测试算法设定失败的事情发生，进而大大提高半导体测试软件的可靠性及测试算法文档的可读性。

本发明的目的是这样实现的：一种测试算法文档加载方法，用于将一测试算法文档加载至一半导体测试软件的测试算法数据库中，该加载方法包括以下步骤：a、建立一测试算法文档；b、提供一转换模块以将测试算法文档转换成可直接加载至测试算法数据库的文档；c、将转换所得的文档加载至测试算法数据库中。

在上述的测试算法文档加载方法中，该半导体测试软件为半导体制程评测核心软件。

在上述的测试算法文档加载方法中，该转换模块为使用UNIX Shell语言编写的一转换程序。

在上述的测试算法文档加载方法中，该测试算法文档包括测试输入变量、输出变量和设备变量。

与现有技术中直接在半导体测试软件所提供的测试算法添加设定界面上进行测试算法的设定，当测试算法所包括的输入变量、输出变量和设备变量的总数量过大时易发生测试算法的设定失败的事情相比，本发明的测试算法文档加载方法先建立一测试算法文档，然后提供一转换模块以将测试算法文档转换成可直接加载至测试算法数据库的文档，最后将转换所得的文档加载至测试算法数据库中，如此可避免测试算法失败的事情发生，并可大大提高半导体测试软件的可靠性及测试算法文档的可读性。

附图说明

本发明的测试算法文档加载方法由以下的实施例及附图给出。

图1为本发明的测试算法文档加载方法的流程图；

图2为本发明的较佳实施例中的测试算法文档的示意图；

图3为图2中的测试算法文档经转换后的示意图。

具体实施方式

以下将对本发明的测试算法文档加载方法作进一步的详细描述。

本发明的测试算法文档加载方法用于将一测试算法文档加载至一半导体测试软件的测试算法数据库中，所述测试算法数据库用于存储测试算法。所述半导体测试软件为安捷伦公司的半导体制程评测核心软件。参见图1，所述加载方法首先进行步骤S10，建立一测试算法文档。所述测试算法文档包括测试输入变量、输出变量和设备变量。

接着继续步骤S11，提供一转换模块以将测试算法文档转换成可直接加载至测试算法数据库的文档。所述转换模块为使用UNIX Shell语言编写的一转换程序。

请参见图2和图3，其分别显示了本实施例中的测试算法文档经转换模块转换前后的示意图，如图所示，经转换模块转换前的测试算法文档可读性很强，而经转换模块转换后的测试算法文档非常简短，其可方便加载至测试算法数据库中。

接着继续步骤S12，将转换所得的文档加载至测试算法数据库中。

综上所述，本发明的测试算法文档加载方法先建立一测试算法文档，然后提供一转换模块以将测试算法文档转换成可直接加载至测试算法数据库的文档，最后将转换所得的文档加载至测试算法数据库中，如此可避免测试算法失败的事情发生，并可大大提高半导体测试软件的可靠性及测试算法文档的可读性。