[发明专利]一种化学机械抛光液

权利要求书

1.一种化学机械抛光液，其含有研磨颗粒、氧化剂、络合剂和水，其特征在于：其还含有下列表面摩擦调节剂中的一种或多种：水溶性多聚脂肪链类聚合物、水溶性醇类、水溶性醚类和水溶性纤维素类。

2.如权利要求1所述的抛光液，其特征在于：所述的表面摩擦调节剂的含量为质量百分比0.01～20％。

3.如权利要求1所述的抛光液，其特征在于：

所述的水溶性多聚脂肪链类聚合物选自多聚羧酸及其水溶盐、多聚脂肪醇、多聚羧酸酯和聚丙烯醛类化合物中的一种或多种；

所述的水溶性醇类化合物为水溶性脂肪醇和/或其水溶盐；

所述的水溶性醚类化合物为水溶性脂肪醚；

所述的水溶性纤维素类化合物为缔合水溶性纤维素醚，其在重量浓度1％的下测量的DP粘度为250-20,000mPa·s。

4.如权利要求3所述的抛光液，其特征在于：

所述的水溶性多聚脂肪链类聚合物为聚丙烯酸类化合物及其盐、聚乙烯醇类化合物、聚丙烯醇类化合物和聚丙烯酸酯类化合物中的一种或多种；

所述的水溶性脂肪醇和/或其水溶盐为水溶性脂肪多元醇和/或其水溶盐；

所述的水溶性脂肪醚为丙二醇甲醚和/或丙二醇乙醚；

所述的缔合水溶性纤维素醚为羧甲基纤维素、羟乙基纤维素、甲基纤维素、羟甲基丙基纤维素、羟甲基纤维素、羟乙基纤维素、羧甲基纤维素和羧乙基 纤维素中的一种或多种。

5.如权利要求4所述的抛光液，其特征在于：

所述的水溶性多聚脂肪链类聚合物为如式I所示的聚丙烯酸类化合物及其盐，以及聚丙烯酸酯类化合物；

式I

其中，R₁、R₂独自的为H或C₁～C₃的烷基，R₃为H、K、Na、NH₄或C₁～C₃的烷基；

所述的水溶性脂肪多元醇为丙三醇、甘露醇、葡萄糖醇和山梨糖醇中的一种或多种。

6.如权利要求3所述的抛光液，其特征在于：所述的水溶性多聚脂肪链类聚合物选自聚甲基丙烯酸、聚甲基丙烯酸铵盐、聚甲基丙烯酸钾盐、聚马来酸、聚丙烯酸、聚(p-苯乙烯羧酸)、聚丙烯酸钾盐、聚丙烯酸铵盐、聚丙烯酸酰胺、氨基聚丙烯酸酰胺、聚丙烯酸甲酯、聚丙烯酸乙酯、聚酰胺酸、聚酰胺酸铵盐和聚酰胺酸钾盐中的一种或多种。

7.如权利要求1、3～6中任一项所述的抛光液，其特征在于：所述的水溶性多聚脂肪链类聚合物的平均分子量为1000～300,0000。

8.如权利要求8所述的抛光液，其特征在于：所述的水溶性多聚脂肪链类聚合物的平均分子量为2000～100,0000。

9.如权利要求1、3～6中任一项所述的抛光液，其特征在于：所述的水溶性多聚羧酸类聚合物的含量为重量比10ppm～5000ppm。

10.如权利要求1所述的抛光液，其特征在于：所述的研磨颗粒为二氧化硅、氧化铝和聚合物颗粒中的一种或多种；所述的研磨颗粒的粒径为30～100nm；所述的研磨颗粒的含量为质量百分比0.1～10％。

11.如权利要求1所述的抛光液，其特征在于：所述的络合剂为甘氨酸和/或2-膦酸丁烷-1，2，4-三羧酸；所述的络合剂的含量为质量百分比0.1～4％。

12.如权利要求1所述的抛光液，其特征在于：所述的氧化剂为过氧化氢、过硫酸铵、过硫酸钾、过氧乙酸和过氧化氢脲中的一种或多种；所述的氧化剂的含量为质量百分比0.5～10％。

13.如权利要求1所述的抛光液，其特征在于：所述的抛光液的pH值为2.0～5.0或9.0～11.0。