[发明专利]多磁足驱动式大范围磁浮平面工作台无效
| 申请号： | 200810036151.7 | 申请日： | 2008-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN101286368A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 曹家勇;王石刚;朱煜;徐威;尹文生 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00;G12B9/10;B25H1/00;B23Q1/44 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多磁足 驱动 范围 平面 工作台 | ||
1.一种多磁足驱动式大范围磁浮平面工作台，包括基台(1)和移动台(2)，移动台(2)悬浮设置在基台(1)上方，两者之间存在气隙，其特征在于：所述基台(1)包含一个永磁阵列(5)，所述永磁阵列布置于所述气隙下方；
所述移动台由平台(7)和设置于平台(7)底部的若干个磁足单元(8)组成，所述磁足单元(8)包含一个线圈阵列(4)和一个由铁磁材料制成的磁足铁心(9)，所述磁足铁心(9)由铁心体(10)和一系列铁心齿(11)构成，所述一系列铁心齿(11)固接于铁心体(11)上；所述线圈阵列(4)由若干线圈(12)组成，所述线圈(12)分别镶嵌于所述铁心齿(11)上。
2.根据权利要求1所述的多磁足驱动式大范围磁浮平面工作台，其特征是：所述一系列铁心齿(11)沿XY平面按照矩阵形式布置而成。
3.根据权利要求1所述的多磁足驱动式大范围磁浮平面工作台，其特征是：所述一系列铁心齿(11)中，沿X方向任意相邻铁心齿和沿Y方向任意相邻铁心齿之间的中心距等于永磁阵列的极距的三分之一。
4.根据权利要求1所述的多磁足驱动式大范围磁浮平面工作台，其特征是：所述线圈阵列(4)中沿X方向任意相邻线圈和沿Y方向任意相邻线圈之间的中心距也等于永磁阵列的极距P的三分之一。
5.根据权利要求1所述的多磁足驱动式大范围磁浮平面工作台，其特征是：所述线圈(12)的数量与所述铁心齿(11)的数量一样。
6.根据权利要求1所述的多磁足驱动式大范围磁浮平面工作台，其特征是：所述永磁阵列(5)由一系列沿着XY平面按照矩阵形式分布的永磁体(6)组成。
7.根据权利要求1所述的多磁足驱动式大范围磁浮平面工作台，其特征是：所述线圈阵列(4)中的线圈被分成9组，在每一相绕组中，沿x方向或y方向任意两相邻线圈轴线之间的距离分别等于所述永磁阵列的极距。
8.根据权利要求1或5或7所述的多磁足驱动式大范围磁浮平面工作台，其特征是：所述线圈(12)为矩形线圈(20)、圆形线圈(21)或多边形线圈(22)。
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