[发明专利]量子放大的p型量子阱红外探测器无效

专利信息
申请号: 200810036257.7 申请日: 2008-04-18
公开(公告)号: CN101262025A 公开(公告)日: 2008-09-10
发明(设计)人: 陆卫;王旺平;侯颖;李天信;陈平平;张波;甄红楼;李宁;陈效双 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: H01L31/111 分类号: H01L31/111
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 代理人: 郭英
地址: 20008*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 量子 放大 红外探测器
【权利要求书】:

1.一种量子放大的p型量子阱红外探测器,包括:量子点共振隧穿二极管和p型量子阱有源层(10);

所说的量子点共振隧穿二极管由半绝缘GaAs衬底(1),在半绝缘GaAs衬底上通过分子束外延或金属有机气相外延方法依次排列生长GaAs缓冲层(2)、AlAs腐蚀阻挡层(3)、掺杂浓度渐变的n+GaAs下电极层(4)、第一GaAs间隔层(5)、双势垒结构层(6)、第二GaAs间隔层(7)、InAs量子点(8)、本征GaAs量子点覆盖层(9)、第三GaAs间隔层(11)和n+GaAs上电极层(12)组成;其中双势垒结构层(6)为AlxGa1-xAs/GaAs/AlxGa1-xAs,组分x=0.33-1.0;InAs量子点的密度为(1-9)×1010cm-2

其特征在于:所说的p型量子阱有源层(10)设置在量子点共振隧穿二极管的本征GaAs量子点覆盖层(9)和第三GaAs间隔层(11)之间。

2.根据权利要求1的一种量子放大的p型量子阱红外探测器,其特征在于:所说的p型量子阱有缘层(10)为1-10个周期的InyGa1-y As/GaAs,InyGa1-y As量子阱厚度为4nm,GaAs势垒厚为35nm,组分y为0.1-0.6。

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