[发明专利]一种用于Pseudo－MOS表征的测试台及其测试方法无效
| 申请号： | 200810036965.0 | 申请日： | 2008-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN101271137A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 张恩霞;言智;于治水;曹阳根;何佳;黄晨 | 申请（专利权）人： | 上海工程技术大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 上海三方专利事务所 | 代理人： | 吴干权 |
| 地址： | 201620*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 pseudo mos 表征 测试 及其 方法 | ||
1.一种用于Pseudo-MOS表征的测试台，包括测试台、测试台架、固定配件、导电载物台及测试屏蔽盒，其特征在于：还包括压力控制系统、探针定位系统，测试台上装有导电载物台及测试屏蔽盒，压力控制系统、探针定位系统采用固定配件安装在测试台架上。
2.根据权利1所述的一种用于Pseudo-MOS表征的测试台，其特征在于：所述的探针定位系统采用探针高度定位控制器控制探针在X、Y、Z方向移动，压力控制系统主要由压力控制器、数字显示器、压力传感器、探针接触缓冲器及探针组成。
3.根据权利2所述的一种用于Pseudo-MOS表征的测试台，其特征在于：所述的探针接触缓冲器由两根弹簧组成。
4.根据权利2所述的一种用于Pseudo-MOS表征的测试台，其特征在于：探针的材料采用具有良好电导率的金属及金属合金制成。
5.根据权利1所述的一种用于Pseudo-MOS表征的测试台，其特征在于：所述的屏蔽盒是一个对测试台进行屏蔽的盒状结构，屏蔽盒设有接地装置，该屏蔽盒材料为金属或金属合金。
6.根据权利1所述的一种用于Pseudo-MOS表征的测试台，其特征在于：所述的导电载物台活动连接测试台，导电载物台的表面材料采用良好导电性能的金属制成，并与连接电极的屏蔽导线相连。
7.根据权利1所述的一种用于Pseudo-MOS表征的测试台，其特征在于：该测试台与精密半导体参数分析仪连接。
8.一种用于Pseudo-MOS表征的测试方法，包括测试台、测试台架、固定配件、导电载物台及测试屏蔽盒，其特征在于：还包括压力控制系统、探针定位系统，探针与半导体薄膜形成欧姆解除，压力传感器控制探针与半导体薄膜之间的作用力，并能通过数字显示器显示出该作用力的具体数值，作用于探针上的压力作用系统与高弹性弹簧相连控制作用力，探针定位系统用于控制并确定探针的高度与XY方向坐标。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海工程技术大学，未经上海工程技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810036965.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：杏果醋酿造工艺
- 下一篇：斜盘式流体机械的装配方法以及装配装置
