[发明专利]无推进长寿命阴极电弧源装置

权利要求书

1、一种无推进长寿命阴极电弧源装置，包括：阴极电弧靶、阴极底座、屏蔽罩底座、水冷阳极、触发装置，其特征在于，还包括可动屏蔽罩、支撑屏蔽罩，阴极电弧靶和阴极底座之间采用螺纹连接，支撑屏蔽罩的一端通过内螺纹和屏蔽罩底座相连，同时另外一端通过内螺纹和可动屏蔽罩连接，可动屏蔽罩与支撑屏蔽罩之间通过螺纹实现相对移动，水冷阳极和阴极电弧靶之间电绝缘，触发装置和阴极电弧靶的工作端面靠近，通过触发装置和工作端面的接触和分离来引发电弧。

2、根据权利要求1所述的无推进长寿命阴极电弧源装置，其特征是，所述可动屏蔽罩在支撑屏蔽罩内上下移动，以使可动屏蔽罩的端面和阴极电弧靶的工作端面始终保持平行。

3、根据权利要求1所述的无推进长寿命阴极电弧源装置，其特征是，所述阴极底座，其外直径在0.8倍的阴极电弧靶的外直径和1倍的阴极电弧靶的外直径之间。

4、根据权利要求1或3所述的无推进长寿命阴极电弧源装置，其特征是，所述阴极底座，其高度在0.6倍的阴极电弧靶的高度和1倍的阴极电弧靶的高度之间。

5、根据权利要求1所述的无推进长寿命阴极电弧源装置，其特征是，所述可动屏蔽罩的形状为圆筒形，并在一端具有凹缘。

6、根据权利要求1或5所述的无推进长寿命阴极电弧源装置，其特征是，所述可动屏蔽罩的最内直径和最外直径分别为：

阴极电弧靶的外直径＜可动屏蔽罩的最内直径＜阴极电弧靶的外直径+10mm；

可动屏蔽罩的最外直径＝可动屏蔽罩的最内直径+10到20mm。

7、根据权利要求1或5所述的无推进长寿命阴极电弧源装置，其特征是，所述可动屏蔽罩，其高度在阴极底座的高度到阴极底座高度的1.2倍之间。

8、根据权利要求1所述的无推进长寿命阴极电弧源装置，其特征是，所述支撑屏蔽罩形状为圆筒形，其内直径和可动屏蔽罩的最外直径、屏蔽罩底座的外直径相等。

9、根据权利要求1或8所述的无推进长寿命阴极电弧源装置，其特征是，所述支撑屏蔽罩，其外直径等于支撑屏蔽罩的内直径加上6mm到10mm.

10、根据权利要求1或8所述的无推进长寿命阴极电弧源装置，其特征是，所述支撑屏蔽罩，其高度大于屏蔽罩底座的高度以及阴极底座的高度之和，且小于屏蔽罩底座的高度以及阴极底座的高度之和的1.4倍。